上海新微技术研发中心有限公司唐叶获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种MEMS传感器测试设备的转子结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223449264U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423082374.0,技术领域涉及:G01D18/00;该实用新型一种MEMS传感器测试设备的转子结构是由唐叶设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS传感器测试设备的转子结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种MEMS传感器测试设备的转子结构,其特征在于,包括旋转机构和转子部,所述旋转机构和所述转子部连接,并可带动所述转子部旋转;所述转子部为两个旋臂构成的十字型结构,所述转子部的末端设置有用于安装样品的至少一个测试位。本申请通过旋转机构带动十字型的转子部的旋转,可以在一个结构中同时实现为待测芯片提供足够的高度激励和加速度激励的需求,该结构简单,测试方便且易于同其余部件结合以进一步拓展测试功能。
本实用新型一种MEMS传感器测试设备的转子结构在权利要求书中公布了:1.一种MEMS传感器测试设备的转子结构,其特征在于,包括旋转机构和转子部,所述旋转机构和所述转子部连接,并可带动所述转子部旋转; 所述转子部为两个旋臂构成的十字型结构,所述转子部的末端设置有用于安装样品的至少一个测试位。
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