金瑞泓微电子(嘉兴)有限公司张帅获国家专利权
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龙图腾网获悉金瑞泓微电子(嘉兴)有限公司申请的专利一种硅片金属测试的自动制样取样装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223449957U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421629501.1，技术领域涉及：G01N35/00；该实用新型一种硅片金属测试的自动制样取样装置是由张帅;张世波;卢飞红;曾来兵;张晓媛;徐停停;陈嘉雷;刘则均设计研发完成，并于2024-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片金属测试的自动制样取样装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种硅片金属测试的自动制样取样装置，包括底座，所述的底座上端设置有外框架，该外框架顶部设有排风管，所述的底座上端中部安装有制样台，该制样台用于倾斜放置硅片，所述的底座上端位于制样台的后方安装有两个机械臂，其中一个机械臂上端设置有制样管，另一个机械臂上端设置有取样管，所述的制样管一端连接有扫描液瓶，该制样管与扫描液瓶之间设置有蠕动泵，所述的取样管一端连接有ICP‑MS进样器，该取样管另一端安装有非接触式气泡传感器。本实用新型能够实现自动化制样和取样，解决了传统手动操作引入沾污的问题，还能避免操作员直接接触扫描液，减少对人体的危害。
本实用新型一种硅片金属测试的自动制样取样装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片金属测试的自动制样取样装置，包括底座1，其特征在于：所述的底座1上端设置有外框架9，该外框架9顶部设有排风管8，所述的底座1上端中部安装有制样台，该制样台用于倾斜放置硅片，所述的底座1上端位于制样台的后方安装有两个机械臂11，其中一个机械臂11上端设置有制样管7，另一个机械臂11上端设置有取样管12，所述的制样管7一端连接有扫描液瓶，该制样管7与扫描液瓶之间设置有蠕动泵16，所述的取样管12一端连接有ICP-MS进样器17，该取样管12另一端安装有非接触式气泡传感器14。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人金瑞泓微电子(嘉兴)有限公司，其通讯地址为：314001 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)2号楼251室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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