南京元感微电子有限公司王章辉获国家专利权
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龙图腾网获悉南京元感微电子有限公司申请的专利一种三轴电容式加速度计获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223449974U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422884231.5,技术领域涉及:G01P15/125;该实用新型一种三轴电容式加速度计是由王章辉;柳俊文;史晓晶;胡引引设计研发完成,并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三轴电容式加速度计在说明书摘要公布了:本实用新型涉及加速度计技术领域,公开一种三轴电容式加速度计,包括锚点,还包括由外至内依次设置的:第一加速度检测组件,包括第一质量块和第一检测电极,第一质量块与锚点沿第一方向弹性连接;第二加速度检测组件,包括第二质量块和第二检测电极,第二质量块与第一质量块沿第二方向弹性连接;第三加速度检测组件,包括第三质量块和第三检测电极,第三质量块与第二质量块沿第三方向弹性连接,第三检测电极为第三方向差分电容。本实用新型公开的三轴电容式加速度计,结构简单、锚点少,适用于长时间稳定工作的应用场景,延长了加速度计的使用寿命,提高了加速度计的可靠性。
本实用新型一种三轴电容式加速度计在权利要求书中公布了:1.一种三轴电容式加速度计,其特征在于,包括固定在衬底上的锚点,还包括由外至内依次设置的: 第一加速度检测组件,用于检测第一方向的第一加速度且包括第一质量块和第一检测电极,所述第一质量块与所述锚点沿所述第一方向弹性连接,所述第一检测电极的可动部分设置在所述第一质量块上; 第二加速度检测组件,用于检测第二方向的第二加速度且包括第二质量块和第二检测电极,所述第二质量块与所述第一质量块沿所述第二方向弹性连接,所述第二检测电极的可动部分设置在所述第二质量块上; 第三加速度检测组件,用于检测第三方向的第三加速度且包括第三质量块和第三检测电极,所述第三质量块与所述第二质量块沿所述第三方向弹性连接,所述第三检测电极为第三方向差分电容且其可动部分设置在所述第三质量块上;所述第三加速度检测组件还包括能够沿所述第三方向变形的第三弹性连接梁,所述第三弹性连接梁的两端分别与所述第二质量块和所述第三质量块相连,其中,所述第三弹性连接梁包括第一短梁、直梁及第二短梁,所述第一短梁和所述第二短梁分别设置在所述直梁的两端且分别位于所述直梁的两侧,所述第一短梁与所述第二质量块相连,所述第二短梁与所述第三质量块相连; 所述第三方向差分电容包括第三方向负差分电极和第三方向正差分电极,所述第三方向负差分电极和所述第三方向正差分电极间隔设置在所述第三质量块上,所述第三方向负差分电极为第一梳齿电极,所述第一梳齿电极包括依次交替设置的第一静梳齿和第一动梳齿,所述第三方向正差分电极为第二梳齿电极,所述第二梳齿电极包括依次交替设置的第二静梳齿和第二动梳齿,检测所述第三加速度时,所述第三质量块沿所述第三方向运动,所述第一动梳齿沿所述第三方向运动且两者的正对面积为第一交叠面积,所述第二动梳齿沿所述第三方向运动且两者的正对面积为第二交叠面积,所述第二交叠面积与所述第一交叠面积呈反向变化; 所述第一梳齿电极还包括固定在所述衬底上的第一梳齿固定轴,所述第一静梳齿固定在所述第一梳齿固定轴上,所述第一静梳齿由所述第一梳齿固定轴背离所述衬底的一侧沿所述第三方向延伸形成,所述第一动梳齿由所述第三质量块靠近所述衬底的一侧沿所述第三方向延伸形成; 所述第二梳齿电极还包括固定在所述衬底上的第二梳齿固定轴,所述第二静梳齿固定在所述第二梳齿固定轴上,所述第二静梳齿由所述第二梳齿固定轴靠近所述衬底的一侧沿所述第三方向延伸形成,所述第二动梳齿由所述第三质量块背离所述衬底的一侧沿所述第三方向延伸形成; 所述第三质量块沿靠近所述衬底的方向运动时,所述第一交叠面积逐渐减小,所述第二交叠面积逐渐增大;所述第三质量块沿背离所述衬底的方向运动时,所述第一交叠面积逐渐增大,所述第二交叠面积逐渐减小。
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