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苏州格拉尼视觉科技有限公司朱春雷获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州格拉尼视觉科技有限公司申请的专利一种晶圆探针台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450088U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422807631.6,技术领域涉及:G01R31/26;该实用新型一种晶圆探针台是由朱春雷设计研发完成,并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆探针台在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆探针台,包括台座和台面,所述台面固定安装在台座上;所述台面的中间位置开设有装配槽,所述装配槽的内部固定安装有卡盘,所述装配槽的边缘处固定安装有第一凸台和第三凸台,所述第一凸台和第三凸台相对设置,所述第一凸台和第三凸台上均开设有第二开口。与现有技术相比,本实用新型的晶圆探针台通过第一凸台对卡盘上端面吹负离子风,经过卡盘上方的负离子风又被第三凸台抽取,即可在连续作业过程中实时对卡盘上端面吹气清理,防止晶圆之间产生交叉污染,并且吹掉的脏污又能被第三凸台抽取收集,不会污染其他部件;另外,负离子风还能够消除卡盘上可能产生的静电,以便在卡盘上安全的对晶圆进行检测。

本实用新型一种晶圆探针台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆探针台,包括台座和台面,所述台面固定安装在台座上,其特征在于: 所述台面的中间位置开设有装配槽,所述装配槽的内部固定安装有卡盘,所述装配槽的边缘处固定安装有第一凸台和第三凸台,所述第一凸台和第三凸台相对设置,所述第一凸台和第三凸台上均开设有第二开口,所述第二开口正对卡盘的上端面; 所述台面上还开设有凹槽,所述凹槽的内部安装有离子风循环组件,所述离子风循环组件的输出端和输入端分别与第一凸台和第三凸台相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州格拉尼视觉科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区若水路388号B座301室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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