重庆芯联微电子有限公司田龙获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利光罩盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450313U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421965893.9,技术领域涉及:G03F1/66;该实用新型光罩盒是由田龙;方震宇设计研发完成,并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩盒在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,提供了一种光罩盒,包括:盒体和盖于盒体上的盖体;所述盒体和所述盖体中至少一者设置有复合层;所述复合层包括导电层、外层和内层,所述导电层位于所述外层和所述内层之间,所述导电层的导电性大于所述外层和所述内层的导电性。如此配置,通过在盒体和盖体内部设置导电层,可将静电卸除,防止静电窜入击穿光罩图形线,以改善静电积累现象,可有效防治静电对光罩的危害。
本实用新型光罩盒在权利要求书中公布了:1.一种光罩盒,其特征在于,包括:盒体、盖于盒体上的盖体以及导通件; 所述盒体和所述盖体均通过复合层制成; 所述复合层包括导电层、外层和内层,所述导电层位于所述外层和所述内层之间,所述导电层的导电性大于所述外层和所述内层的导电性,所述外层和所述内层为非金属层; 所述导通件设置于所述盒体,所述导通件与所述盒体内的导电层连接,所述导通件的一部分裸露于所述盒体的内腔中; 所述盖体的导电层一部分裸露,所述盖体盖于所述盒体时,所述盖体裸露的导电层与所述导通件接触,以使得所述盒体内的导电层与所述盖体内的导电层连接。
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