乐金显示光电科技(中国)有限公司罗海航获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利显影液供给系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450316U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422718743.4,技术领域涉及:G03F7/30;该实用新型显影液供给系统是由罗海航设计研发完成,并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本显影液供给系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种显影液供给系统,包括设置于显影室内的喷头、与喷头连接的供液管、第一正性显影罐和第一负性显影罐,第一正性显影罐通过第一连接管与供液管连接,第一负性显影罐第二连接管与供液管连接,供液管还连接有第三连接管,第三连接管与外部去离子水源相通,所有连接管上均设置有第一泵体和第一阀门,且所有的第一阀门均邻近于供液管设置。本实用新型的显影液供给系统通过第三连接管的设置,使供液管在显影液切换时,外部去离子水源能够通过第三连接管对供液管进行清洗,以保证供液管内的洁净度,从而避免供液管内正性显影液和负性显影液发生化学反应的现象,保证显影液供给系统的供给品质。
本实用新型显影液供给系统在权利要求书中公布了:1.一种显影液供给系统,其特征在于,包括: 喷涂组件,所述喷涂组件包括喷头和供液管,所述喷头设置于显影室内并用于向待显影的基板喷射显影液,所述供液管的一端与所述喷头连接,所述供液管的另一端延伸至所述显影室外; 供料组件,所述供料组件包括间隔设置的第一正性显影罐和第一负性显影罐,所述显影液包括正性显影液和负性显影液,所述第一正性显影罐中存储有所述正性显影液,所述正性显影罐通过第一连接管与所述供液管远离所述喷头的一端连接,所述第一负性显影罐中存储有负性显影液,所述第一负性显影罐第二连接管与所述供液管远离所述喷头的一端连接,所述供液管远离所述喷头的一端还连接有第三连接管,所述第三连接管与外部去离子水源相通,所述第一连接管、所述第二连接管和所述第三连接管上均设置有第一泵体和第一阀门,且所有的所述第一阀门均邻近于所述供液管设置。
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