深圳市矩阵多元科技有限公司黎佐兴获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利真空加热装置以及半导体用加热设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450848U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422579122.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型真空加热装置以及半导体用加热设备是由黎佐兴;孙守祥;黄承语;龚文志;朱新华;张晓军设计研发完成,并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空加热装置以及半导体用加热设备在说明书摘要公布了:本实用新型提出了一种真空加热装置以及具有该真空加热装置的半导体用加热设备。真空加热装置对加热对象物进行加热,包括:壳体,所述壳体内设置有腔体;具有热传导性的罩子,设置在所述腔体内,所述罩子的一侧形成有开口部,所述罩子内形成容纳室,所述容纳室用于容纳经由所述开口部而进入所述容纳室内的所述加热对象物;第一加热单元,在所述腔体内设置在所述罩子的外侧,围绕所述罩子而对所述罩子进行加热。
本实用新型真空加热装置以及半导体用加热设备在权利要求书中公布了:1.真空加热装置,对加热对象物进行加热,其特征在于,包括: 壳体,所述壳体内设置有腔体; 具有热传导性的罩子,设置在所述腔体内,所述罩子的一侧形成有开口部,所述罩子内形成容纳室,所述容纳室用于容纳经由所述开口部而进入所述容纳室内的所述加热对象物; 第一加热单元,在所述腔体内设置在所述罩子的外侧,围绕所述罩子而对所述罩子进行加热。
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