创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223450849U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422665722.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆清洗装置是由左国军;蔡嘉雄;黄海祥;王雷雷设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括晶圆清洗室，所述圆清洗室内设置有清洗台及清洗组件，所述晶圆清洗室为塑焊腔室，所述腔室一侧设置有供晶圆进出的料口，所述料口设置有密封板，所述密封板由升降气缸控制相对所述料口升降，从而实现所述料口的遮挡或打开。本实用新型将清洗工位设置在塑焊的腔室内，使得清洗工位模块化，便于与其他设备灵活组合，能够避免清洗时受到外界的污染物的污染，保证清洗工位的洁净。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括晶圆清洗室，所述圆清洗室内设置有清洗台及清洗组件，所述晶圆清洗室为塑焊腔室，所述腔室一侧设置有供晶圆进出的料口，所述料口设置有密封板，所述密封板由升降气缸控制相对所述料口升降，从而实现所述料口的遮挡或打开。
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