苏州龙驰半导体科技有限公司房其科获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州龙驰半导体科技有限公司申请的专利晶圆加工系统及晶圆加工产线获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223450850U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422782032.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆加工系统及晶圆加工产线是由房其科设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆加工系统及晶圆加工产线在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种晶圆加工系统及晶圆加工产线，其中，系统包括：溶液装置，设有用于注入除氮化物液体的入口、用于注入除胶液体的入口；溶液装置设有用于容纳盛装晶圆的工装花篮的内部空间，除氮化物液体能够去除晶圆表面的氮化物，除胶液体能够去除晶圆表面的残胶；流量检测器，设置于溶液装置的液体入口处，用于检测进入溶液装置的液体的流量；运送装置，设置于溶液装置的旁侧，设有用于夹持工装花篮的夹持机构。本申请实施例所提供的晶圆加工系统，利用一个溶液装置实现两个工艺，减少了装置数量，降低维护难度及成本。另外，采用流量检测器设置于溶液装置的液体入口处，用于检测进入溶液装置的液体的流量，能提高工艺控制精度。
本实用新型晶圆加工系统及晶圆加工产线在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工系统，其特征在于，包括： 溶液装置，设有用于注入除氮化物液体的入口、用于注入除胶液体的入口；溶液装置设有用于容纳盛装晶圆的工装花篮的内部空间，除氮化物液体能够去除晶圆表面的氮化物，除胶液体能够去除晶圆表面的残胶； 流量检测器，设置于溶液装置的液体入口处，用于检测进入溶液装置的液体的流量； 运送装置，设置于溶液装置的旁侧，运送装置设有用于夹持工装花篮的夹持机构；运送装置能沿轨道行走，将工装花篮运送至溶液装置或从溶液装置将工装花篮取出或运送至下一工位。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州龙驰半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市高新区金山路78号1-2幢Z101室B-216；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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