天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司王云浩获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种立式石英舟获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450859U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422669279.4,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种立式石英舟是由王云浩;韩军辉;刘建伟;王帅;谭永麟设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式石英舟在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种立式石英舟,包括上端板和下端板,所述上端板和下端板之间相对设置有支撑立柱,所述支撑立柱上插设有多个衬片,所述衬片设置为整片结构,用于放置硅片,使所述硅片的下表面放置在所述衬片上。本实用新型的有益效果是由于采用上述技术方案,通过设置衬片,有效防止了硅片与石英舟的粘连,减少了硅片由于粘连造成外观缺陷,保证了硅片的加工质量,通过减少衬片与石英舟的接触面积,延长了衬片的使用周期。
本实用新型一种立式石英舟在权利要求书中公布了:1.一种立式石英舟,包括上端板和下端板,所述上端板和下端板之间相对设置有支撑立柱,其特征在于:所述支撑立柱上插设有多个衬片,所述衬片设置为整片结构,用于放置硅片,使所述硅片的下表面放置在所述衬片上。
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