上海大族富创得科技股份有限公司倪萌获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种立式炉前置运输装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450865U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422763024.4,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种立式炉前置运输装置是由倪萌;周太君;余观水;吴沃祖;秦承伟设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式炉前置运输装置在说明书摘要公布了:本申请提供了一种立式炉前置运输装置,其中立式炉前置运输装置包括前置壳体、缓存固定装置、平移机械手、升降模组和平移传输模组,前置壳体上开设有对接口,对接口与立式炉的入口对应连接,缓存固定装置和平移传输模组均设置于前置壳体内,升降模组连接平移机械手和平移传输模组,平移机械手和平移传输模组分别沿第一方向和第二方向移动。本实用新型中的立式炉前置运输装置实现了自动化生产,进而有效提高了生产效率,将转移运动拆分为第一方向和第二方向的两个独立运动,有效提高了整体的定位精度和运动准确度,也有效提升了装置的适应能力,进而增加了装置的可靠性和实用性,为产品的最终质量提供了保障。
本实用新型一种立式炉前置运输装置在权利要求书中公布了:1.一种立式炉前置运输装置,其特征在于,包括: 前置壳体,所述前置壳体上开设有对接口,所述对接口与立式炉的入口对应连接; 缓存固定装置,所述缓存固定装置设置于所述前置壳体内,所述缓存固定装置用于存放和固定晶圆盒; 平移机械手,所述平移机械手用于托起所述晶圆盒和沿第一方向转移所述晶圆盒; 平移传输模组,所述平移传输模组设置于所述前置壳体内,所述平移传输模组沿第二方向移动; 升降模组,所述升降模组连接所述平移机械手和所述平移传输模组,所述升降模组用于抬升和放下所述平移机械手; 所述平移机械手在所述升降模组的带动下升起,进而使得所述平移机械手能够对应托起所述晶圆盒,所述平移机械手带动所述晶圆盒沿所述第一方向进行移动,以使所述晶圆盒从所述前置壳体内转移至所述立式炉内,所述平移传输模组带动所述平移机械手沿所述第二方向对所述晶圆盒进行位置调整,进而使所述晶圆盒能够转移至所述立式炉内的预设位置。
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