江苏国汇合瑞半导体材料有限公司张旭强获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏国汇合瑞半导体材料有限公司申请的专利一种硅片花篮回转机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450867U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422868356.9,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种硅片花篮回转机构是由张旭强;张剑侠;张曼曼;陈艳设计研发完成,并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片花篮回转机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅片花篮回转机构,包括机械臂,所述机械臂的底端固定安装有连接座,所述连接座底部转动连接有回转盘,所述连接座的内部固定安装有用于驱动回转盘转动的伺服电机,所述回转盘的两侧均固定连接有垂直导向轨,所述回转盘上安装有调节件,所述垂直导向轨上安装有活动连接件。该实用新型通过伺服电机带动连接座实现水平方向调节,并配合调节件实现带动侧卡盘夹持,并利用侧驱动电机实现带动花篮翻转角度,从而实现了装置具备实现更加灵活精准的对花篮进行水平角度和翻转角度的调节,减少摆臂行程,提高作业精度和效率的优点。
本实用新型一种硅片花篮回转机构在权利要求书中公布了:1.一种硅片花篮回转机构,包括机械臂1,其特征在于:所述机械臂1的底端固定安装有连接座9,所述连接座9底部转动连接有回转盘2,所述连接座9的内部固定安装有用于驱动回转盘2转动的伺服电机3,所述回转盘2的两侧均固定连接有垂直导向轨4,所述回转盘2上安装有调节件5,所述垂直导向轨4上安装有活动连接件6,所述活动连接件6上安装有侧驱动电机7,所述侧驱动电机7的输出端固定连接有侧卡盘8,所述调节件5与侧驱动电机7连接配合。
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