深圳市美浦森半导体有限公司滕渊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市美浦森半导体有限公司申请的专利一种沟槽栅MOSFET获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223452326U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422892016.X,技术领域涉及:H10D30/66;该实用新型一种沟槽栅MOSFET是由滕渊;刘坤设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沟槽栅MOSFET在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体器件技术,公开一种沟槽栅MOSFET,包括:自下往上依次设有漏极金属层、衬底、缓冲层、N型漂移区、P+基区、源极层和源极金属层;在N型漂移区上层中部挖空处设有沟槽区,且沟槽区还纵向贯穿P+基区、源极层和源极金属层;其中,源极层包括左侧并排设置的P+源极和N+源极、右侧并排设置的N+源极和P+源极,且N+源极均紧邻沟槽区;在沟槽区底部设有P型栅极,P型栅极之上设有被氧化层包裹隔离的沟槽栅极;两个纵向贯穿衬底和缓冲层、连接N型漂移区和漏极金属层的N型栅极。本实用新型旨在旨在降低MOSFET器件的导通电阻,提高器件的电气性能。
本实用新型一种沟槽栅MOSFET在权利要求书中公布了:1.一种沟槽栅MOSFET,其特征在于,包括: 自下往上依次设有漏极金属层、衬底、缓冲层、N型漂移区、P+基区、源极层和源极金属层; 在N型漂移区上层中部挖空处设有沟槽区,且沟槽区还纵向贯穿P+基区、源极层和源极金属层;其中,源极层包括左侧并排设置的P+源极和N+源极、右侧并排设置的N+源极和P+源极,且N+源极均紧邻沟槽区; 在沟槽区底部设有P型栅极,P型栅极之上设有被氧化层包裹隔离的沟槽栅极; 两个纵向贯穿衬底和缓冲层、连接N型漂移区和漏极金属层的N型栅极。
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