日本碍子株式会社堀裕二获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利复合基板、弹性波元件及复合基板的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113939998B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080030208.1,技术领域涉及:H03H3/08;该发明授权复合基板、弹性波元件及复合基板的制造方法是由堀裕二;山寺乔纮设计研发完成,并于2020-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本复合基板、弹性波元件及复合基板的制造方法在说明书摘要公布了:在将包含钽酸锂等的压电性材料基板和包含水晶的支撑基板接合时,使接合强度提高,使得即便减薄压电性材料基板也不会剥离。复合基板7、7A具有:支撑基板4,其包含水晶;压电性材料基板1、1A,其包含选自由铌酸锂、钽酸锂及铌酸锂-钽酸锂构成的组中的材质;以及界面层5,其处于支撑基板4与压电性材料基板1、1A的接合界面。界面层5为以钽和铌中的至少一者、硅及氧为构成成分的非晶质结构。界面层5中的氢原子浓度、氮原子浓度及氟原子浓度分别为1×1018atomscm3以上5×1021atomscm3以下。
本发明授权复合基板、弹性波元件及复合基板的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种复合基板,其特征在于,具有: 支撑基板,该支撑基板包含水晶; 压电性材料基板,该压电性材料基板包含选自由铌酸锂、钽酸锂及铌酸锂-钽酸锂构成的组中的材质;以及 非晶质结构的界面层,该界面层为处于所述支撑基板与所述压电性材料基板的接合界面的界面层,且以钽和铌中的至少一者、硅及氧为构成成分, 所述界面层中的氢原子浓度、氮原子浓度及氟原子浓度分别为1×1018atomscm3以上5×1021atomscm3以下。
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