上海飞凯材料科技股份有限公司高晓义获国家专利权
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龙图腾网获悉上海飞凯材料科技股份有限公司申请的专利一种铜镍金结构的铜种子层蚀刻液及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114318338B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011053021.1，技术领域涉及：C23F1/18；该发明授权一种铜镍金结构的铜种子层蚀刻液及其应用是由高晓义;胡杭剑设计研发完成，并于2020-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铜镍金结构的铜种子层蚀刻液及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种铜镍金结构的铜种子层蚀刻液，所述蚀刻液包含氧化剂5～50wt％、羧基化合物1～40wt％、螯合剂0.01～15wt％、添加剂0～0.01wt％，以及去离子水。本发明还提供了一种如上所述的铜镍金结构的铜种子层蚀刻液在晶圆蚀刻中的应用，尤其是铜镍金结构的晶圆蚀刻，该蚀刻液对镍、金等金属损伤极小，对铝有很高保护能力，铜镍结合处的侧向腐蚀量低，铜柱的底切量低，在使用期限内蚀刻速率稳定，蚀刻均匀度高。
本发明授权一种铜镍金结构的铜种子层蚀刻液及其应用在权利要求书中公布了：1.一种铜镍金结构的铜种子层蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液按照质量百分数计原料包括：氧化剂5～50wt％、羧基化合物8～35wt％、螯合剂0.01～15wt％、添加剂0.5～50ppm，以及去离子水； 所述羧基化合物选自柠檬酸、醋酸、酒石酸、苹果酸、甲酸、丙酸、丁酸、异丁酸、戊酸、异戊酸、草酸、丙二酸、丁二酸、戊二酸、己二酸、羟基乙酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、乳酸、葡萄糖酸、马来酸、苯甲酸、水杨酸中的一种或多种的混合； 所述羧基化合物的种类为至少两种，且其中一种选自醋酸、草酸、甲酸中的至少一种，另一种选自苹果酸、乳酸、丙烯酸、酒石酸、柠檬酸、苯甲酸、马来酸、水杨酸中的至少一种； 所述螯合剂包括至少不同的两种，一种所述螯合剂选自丙氨酸、甘氨酸、赖氨酸、半胱氨酸、蛋氨酸中的一种且含量为0.1wt％～4wt％，剩余的至少一种所述螯合剂选自丙氨酸、甘氨酸、赖氨酸、半胱氨酸、蛋氨酸且含量为1wt％～8wt％； 所述添加剂为卤化物，其中所述卤化物选自氯化铜、氯化铁、氯化钠、氯化铵、氯化钾、氯化钙、氟化铜、氟化铁、氟化钠、氟化铵中的一种或多种的混合。
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