联芸科技(杭州)有限公司吴亚芬获国家专利权
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龙图腾网获悉联芸科技(杭州)有限公司申请的专利一种MOM电容器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114582840B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210152084.5,技术领域涉及:H01L23/64;该发明授权一种MOM电容器是由吴亚芬;孙伟吉;黄怡仁;姚静;王贺辉;俞涛设计研发完成,并于2022-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MOM电容器在说明书摘要公布了:公开了一种MOM电容器,包括:衬底;位于衬底上的第一导电层,第一导电层为导电极板;位于第一导电层上的第二导电层,第二导电层包括多个彼此隔开的第一电极条和第二电极条;位于第二导电层上的第三导电层,第三导电层为导电极板;以及多个通孔,用于将第一电极条电连接到第一导电层和所述第三导电层,以形成第一电极,多个第二电极条之间电连接,形成第二电极,所述第二电极与所述第一电极的极性相反;其中,第一电极条和第二电极条在所述第二导电层所处的平面上呈包围状交替排列;位于第二导电层所处平面的中心的为多个第二电极条中的一个,位于第二导电层所处平面的边缘的为多个第一电极条中的一个。
本发明授权一种MOM电容器在权利要求书中公布了:1.一种MOM电容器,其特征在于,包括: 衬底; 位于所述衬底上的第一导电层,所述第一导电层为导电极板; 位于所述第一导电层上的第二导电层,所述第二导电层包括多个彼此隔开的第一电极条和第二电极条; 位于所述第二导电层上的第三导电层,所述第三导电层为导电极板;以及 多个通孔,用于将所述第一电极条电连接到所述第一导电层和所述第三导电层,以形成第一电极,多个所述第二电极条之间电连接,形成第二电极,所述第二电极与所述第一电极的极性相反; 其中,第一电极条和第二电极条在所述第二导电层所处的平面上呈包围状交替排列;位于所述第二导电层所处平面的中心的为多个第二电极条中的一个,位于所述第二导电层所处平面的边缘的为多个第一电极条中的一个; 还包括位于所述衬底和所述第一导电层之间的虚拟层,所述虚拟层由下至上依次包括阱层、有源层、虚拟有源层以及虚拟栅极层,其中,阱层和有源层之间通过接触孔连接。
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