北京烁科中科信电子装备有限公司秦晓北获国家专利权
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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利离子质量分析器及离子注入装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114899080B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210420502.4,技术领域涉及:H01J49/20;该发明授权离子质量分析器及离子注入装置是由秦晓北;关天祺;贾久宇;张喻召;张丛设计研发完成,并于2022-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子质量分析器及离子注入装置在说明书摘要公布了:本发明公开的一种离子质量分析器及离子注入装置,离子质量分析器包括磁轭、设于磁轭内且呈上下对称分布的第一磁极和第二磁极、位于第一磁极与第二磁极之间且供混合离子束以一定路线通过的束线腔、缠绕在第一磁极上的第一线圈以及缠绕在第二磁极上的第二线圈;第一磁极和第二磁极均为扇形,第一磁极和第二磁极的入射面均为凹面,第一磁极和第二磁极的出射面均为凸面,且凹面的曲率为-0.8~-0.5,凸面的曲率为0.45~0.6;入射时混合离子束线与所述入射面法线之间的夹角为56.5°~60°,出射时偏转离子束线与所述出射面法线之间的夹角为-10.5°~-13°。本发明所述离子质量分析器的分辨率大于200。
本发明授权离子质量分析器及离子注入装置在权利要求书中公布了:1.一种离子质量分析器,包括磁轭、设于所述磁轭内且呈上下对称分布的第一磁极和第二磁极、位于所述第一磁极与第二磁极之间且供混合离子束以一定路线通过的束线腔、缠绕在所述第一磁极上的第一线圈以及缠绕在所述第二磁极上的第二线圈;其特征在于: 所述第一磁极和所述第二磁极均为扇形且为平面磁极,当给第一线圈和第二线圈加载外部激励后,在第一磁极与第二磁极之间产生竖直方向的均匀磁场;所述第一磁极和所述第二磁极的入射面均为凹面,所述第一磁极和所述第二磁极的出射面均为凸面,且所述凹面的曲率为-0.8~-0.5,所述凸面的曲率为0.45~0.6;入射时混合离子束线与所述入射面法线之间的夹角为56.5°~60°,出射时偏转离子束线与所述出射面法线之间的夹角为-10.5°~-13°。
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