东方晶源微电子科技(北京)有限公司陈杰运获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)有限公司申请的专利电子束光阑的校准方法、装置、设备及可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115112015B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210693328.0，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权电子束光阑的校准方法、装置、设备及可读存储介质是由陈杰运;韩春营;杨彩虹;严锋设计研发完成，并于2022-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束光阑的校准方法、装置、设备及可读存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种电子束光阑的校准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。该电子束光阑的校准方法，包括：获取目标图像；其中，目标图像中包括目标对象；对目标图像进行图像清晰度分布检测，获取目标图像的多个图像清晰度分数；基于多个图像清晰度分数，确定目标图像的图像清晰度走向；基于图像清晰度走向，确定图像清晰度等高圆的圆心所在位置；计算圆心所在位置和目标图像的中心位置之间的偏移量；其中，偏移量表征电子束中心和光阑中心之间的偏移量；基于偏移量控制电子束移动，以使偏移量小于预设偏移量。根据本申请实施例，能够更加准确地对电子束光阑进行校准，以使电子束中心和光阑中心之间的偏移量小于预设偏移量。
本发明授权电子束光阑的校准方法、装置、设备及可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种电子束光阑的校准方法，其特征在于，包括： 获取目标图像；其中，所述目标图像中包括目标对象； 通过滑动窗口对所述目标图像中相对位置上截取的包括目标对象的图像块进行图像清晰度分布检测，获取所述目标图像的多对图像清晰度分数； 基于多对所述图像清晰度分数，分别得到多对图像清晰度走向曲线，以确定所述目标图像的图像清晰度走向； 通过对每对所述图像清晰度走向曲线进行曲线拟合，分别确定曲线交点所在位置，基于多个所述曲线交点，确定图像清晰度等高圆的多条弦的所在位置，基于所述图像清晰度等高圆的多条弦的所在位置，确定图像清晰度等高圆的圆心所在位置； 计算所述圆心所在位置和所述目标图像的中心位置之间的偏移量；其中，所述偏移量表征电子束中心和光阑中心之间的偏移量； 基于所述偏移量控制电子束移动，以使所述偏移量小于预设偏移量。
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