株式会社尼康;东丽工程株式会社中积诚获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社尼康;东丽工程株式会社申请的专利晶体管、电子装置及晶体管之制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115136323B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180014587.X,技术领域涉及:H10D30/67;该发明授权晶体管、电子装置及晶体管之制造方法是由中积诚;岸梅工;森诚树;藤元高佳设计研发完成,并于2021-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶体管、电子装置及晶体管之制造方法在说明书摘要公布了:本发明之晶体管具有闸极电极、闸极绝缘膜、半导体膜、源极电极及汲极电极,且上述闸极绝缘膜系交替积层SiOx膜与SiCyNz膜而成之积层膜,构成上述积层膜之膜之总数为3层以上18层以下,构成上述积层膜之各膜之膜厚为25nm以上150nm以下。
本发明授权晶体管、电子装置及晶体管之制造方法在权利要求书中公布了:1.一种晶体管,其具有闸极电极、闸极绝缘膜、半导体膜、源极电极及汲极电极,且 上述闸极绝缘膜系交替形成SiOx膜与SiCyNz膜而成之积层膜; 上述SiOx膜中的x为1.7以上2.4以下; 上述SiCyNz膜中的y为1.0以上3.5以下,z为超过0且为1.0以下; 构成上述积层膜之膜之总数为3层以上18层以下; 构成上述积层膜之各膜之膜厚为25nm以上150nm以下。
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