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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种用于立式SiC高温炉管设备的晶圆自动传输方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115172238B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210824430.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种用于立式SiC高温炉管设备的晶圆自动传输方法是由何永平;杨金;陈若愚;曾桂辉;刘港设计研发完成，并于2022-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于立式SiC高温炉管设备的晶圆自动传输方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于立式SiC高温炉管设备的晶圆自动传输方法，包括以下步骤：S1、在控制系统中设置参数，以指定晶圆缓存架、舟架中存入的晶圆类型；S2、在片盒中放入晶圆，将片盒放到料台上；S3、根据预设的晶圆类型，通过机械手把晶圆传入对应的晶圆缓存架中；S4、重复步骤S2和S3，将所有晶圆传入到晶圆缓存架中；S5、根据舟架上预设的放片类型，通过机械手依次从晶圆缓存架把晶圆传入舟架；S6、开始工艺，并等待工艺结束；S7、把舟架上的晶圆按先进后出的方式传回到晶圆缓存架；S8、在控制系统中选择需要下料的晶圆，通过机械手从对应的晶圆缓存架上把晶圆传入片盒中，完成下料。本发明具有操作简单、自动化程度高、传输效率高等优点。

本发明授权一种用于立式SiC高温炉管设备的晶圆自动传输方法在权利要求书中公布了：1.一种用于立式SiC高温炉管设备的晶圆自动传输方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、在控制系统中设置参数，指定晶圆缓存架3中放入的晶圆类型，并指定舟架4的片槽中存入的晶圆类型；晶圆的类型包括：挡片、填充片、工艺片和监测片； S2、在片盒2中放入预设类型的晶圆，并将片盒2放到料台1上； S3、根据预设的晶圆类型，通过机械手5把晶圆从片盒2传入对应的晶圆缓存架3中； S4、重复步骤S2和S3，直到所有的晶圆均传入到晶圆缓存架3中； S5、根据舟架4上预设的应放片类型，通过机械手5依次从晶圆缓存架3把晶圆传入舟架4； S6、开始SiC晶圆制备工艺，并等待工艺结束； S7、把舟架4上的晶圆按预设的传入路径，以先进后出的方式反向传回到晶圆缓存架3； S8、在控制系统中选择需要下料的晶圆，通过机械手5从对应的晶圆缓存架3上把晶圆传入料台1的片盒2中，完成下料； 所述立式SiC高温炉管设备中设置了Mapping传感器，所述Mapping传感器用于识别片盒2中的晶圆数量和晶圆在片盒2中片槽的位置。

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