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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种自动上蜡机及其上蜡方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115295457B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211026561.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种自动上蜡机及其上蜡方法是由郑金龙;杨小丽;周铁军;马金峰;凌日林设计研发完成，并于2022-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动上蜡机及其上蜡方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体磷化铟衬底材料制造技术领域，公开了一种自动上蜡机及其上蜡方法，包括可翻转机械手、可旋转吸附装置、上蜡机械手、滴蜡装置、烘焙仓、贴片平台、存盘架和陶瓷盘自动取放装置；所述可翻转机械手包括第一手臂部及第一抓手部；所述可旋转吸附装置安装于所述第一抓手部上，所述可旋转吸附装置在吸附晶片时能够带动所述晶片绕自身中心轴进行转动；所述陶瓷盘自动取放装置包括导轨和取盘机械手；本发明能够实现晶片的上料、滴蜡、匀蜡、烘烤、贴片、陶瓷盘取放的一体化和自动化，提高生产效率，降低生产成本，避免烫伤工作人员。

本发明授权一种自动上蜡机及其上蜡方法在权利要求书中公布了：1.一种自动上蜡机，其特征在于，包括： 可翻转机械手，所述可翻转机械手包括第一手臂部、及与所述第一手臂部连接的第一抓手部； 用于吸附晶片的可旋转吸附装置，所述可旋转吸附装置安装于所述第一抓手部，且所述可旋转吸附装置能够带动所述晶片绕自身中心轴转动； 上蜡机械手，所述上蜡机械手包括第二手臂部、及与所述第二手臂部连接的第二抓手部； 滴蜡装置，所述滴蜡装置安装于所述第二抓手部； 烘焙仓，所述烘焙仓具有加热腔，所述烘焙仓具有第一开口，所述第一开口用于所述可旋转吸附装置进出所述加热腔； 贴片平台，所述贴片平台设有加热工位和冷却工位； 陶瓷盘自动取放装置，所述陶瓷盘自动取放装置包括导轨和取盘机械手；所述导轨设于所述贴片平台上，所述取盘机械手沿所述导轨在所述加热工位和所述冷却工位之间做往复运动； 存盘架，所述存盘架位于所述贴片平台的一侧，所述取盘机械手能够从所述存盘架取出陶瓷盘并移动到所述加热工位，或将所述陶瓷盘从所述冷却工位移动到存盘架上； 所述第一手臂部包括依次相连的旋转台、第一活动臂、第二活动臂、第三活动臂、第四活动臂和第五活动臂；所述第一活动臂固定于所述旋转台的顶部，所述旋转台用于驱动所述第一活动臂绕所述旋转台的中心轴进行转动，所述第一活动臂与所述第二活动臂之间设有第一上下活动关节，所述第二活动臂与所述第三活动臂之间设有第二上下活动关节，所述第三活动臂与所述第四活动臂之间设有竖直转动关节，所述第四活动臂和所述第五活动臂之间设有水平转动关节；所述第一抓手部与所述第五活动臂连接； 所述第一抓手部包括： 第一伸缩器，所述第一伸缩器与所述第五活动臂连接，所述第一伸缩器的端面固定有第一夹持部，所述第一伸缩器具有伸缩杆，所述伸缩杆的延伸端穿过所述第一夹持部； 支撑座，所述支撑座与所述伸缩杆的延伸端连接； 支撑杆，所述支撑杆的一端与所述支撑座连接，且所述支撑杆的另一端由所述支撑座向外侧方向延伸，所述支撑杆设有第二夹持部，所述第二夹持部用于与所述第一夹持部进行对应配合，以夹持固定所述可旋转吸附装置。

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