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北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)孙明睿获国家专利权

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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115326364B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210966428.6,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整系统是由孙明睿;武震;王勇威;曹惠姗设计研发完成,并于2022-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整系统在说明书摘要公布了:本申请提供了一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整系统,其中,该所述位姿调整系统包括激光器、光路传导组件和光路校正板,所述光路校正板上设置有透光孔,其中,激光器布置在光学平台的第一位置处,波前分析仪布置在光学平台的第二位置处,光路校正板布置在光路传导组件与波前分析仪之间的第三位置处,其中,激光器发射的激光束通过光路传导组件的传导,经由光路校正板上的透光孔和准直物镜投射到波前分析仪的靶面上,以在所述靶面上形成光斑,根据所述光斑在靶面上的光斑位置,调整准直物镜的安装角度,以使准直物镜的光轴与波前分析仪的光轴重合。达到基于准直物镜的所接收的光线,准确地对安装在波前分析仪上的准直物镜进行调节的效果。

本发明授权一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整系统在权利要求书中公布了:1.一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整系统,其特征在于,所述位姿调整系统包括激光器、光路传导组件和光路校正板,所述光路校正板上设置有透光孔, 其中,激光器布置在光学平台的第一位置处,波前分析仪布置在光学平台的第二位置处,光路传导组件布置在激光器与波前分析仪之间,光路校正板布置在光路传导组件与波前分析仪之间的第三位置处,准直物镜可调节的安装于波前分析仪的靠近光路校正板的一侧,光路校正板上的透光孔所在位置为准直物镜的焦点所在位置处, 其中,激光器发射的激光束通过光路传导组件的传导,经由光路校正板上的透光孔和准直物镜投射到波前分析仪的靶面上,以在所述靶面上形成光斑,根据所述光斑在靶面上的光斑位置,调整准直物镜的安装角度,以使准直物镜的光轴与波前分析仪的光轴重合; 所述光路传导组件包括激光扩束镜、阿贝棱镜和激光聚焦镜, 其中,激光扩束镜布置在光学平台的第四位置处,激光器发射的激光束经激光扩束镜扩束后投射到未安装准直物镜的波前分析仪的靶面上,在所述靶面上形成光斑,根据光斑在靶面上的光斑位置,调整激光扩束镜的安装角度,以使激光扩束镜的光轴与波前分析仪的光轴重合, 其中,阿贝棱镜布置在光学平台的第五位置处,所述第五位置位于第四位置与波前分析仪之间、且靠近第四位置处,经调整后的激光扩束镜扩束后的激光束发射至阿贝棱镜的入射平面,经阿贝棱镜反射后,由阿贝棱镜的出射平面射出,并投射到未安装准直物镜的波前分析仪的靶面上以形成光斑,根据光斑在靶面上的光斑位置,调整阿贝棱镜的安装角度,以使阿贝棱镜的光轴与波前分析仪的光轴重合, 其中,激光聚焦镜布置在光学平台的第六位置处,所述第六位置位于第五位置与波前分析仪之间,由调整后的阿贝棱镜的出射平面射出的激光束,经由激光聚焦镜投射到未安装准直物镜的波前分析仪的靶面上,调整激光聚焦镜的安装角度,以使激光聚焦镜的光轴与经阿贝棱镜反射后的激光束的光轴重合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所),其通讯地址为:100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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