买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉默克专利股份有限公司申请的专利无DNQ的化学增幅抗蚀剂组合物获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115485622B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180030997.3，技术领域涉及：G03F7/039；该发明授权无DNQ的化学增幅抗蚀剂组合物是由刘卫宏;陈春伟设计研发完成，并于2021-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本无DNQ的化学增幅抗蚀剂组合物在说明书摘要公布了：所公开的主题涉及抗蚀剂组合物，所述抗蚀剂组合物包括：A缩醛官能化丙烯酸类聚合物组分，其包含选自具有结构1、2、3、4、5、6及7的重复单元的重复单元；B叔烷基官能化丙烯酸类聚合物组分，其包含选自具有结构1a、2a、3a、4a、5a、6a、及7a的重复单元的重复单元；C酚醛树脂组分，该酚醛树脂组分包含基于酚醛清漆的树脂；D光致产酸剂PAG组分及E溶剂组分，其中所述抗蚀剂组合物不包括重氮萘醌DNQ组分。

本发明授权无DNQ的化学增幅抗蚀剂组合物在权利要求书中公布了：1.一种组合物，其包含 A缩醛官能化丙烯酸类聚合物组分，其包含选自具有结构1、2、3、4、5、6及7的重复单元的重复单元： 其中PG为酸可裂解缩醛保护基， 其中这些重复单元构成所述缩醛官能化丙烯酸类聚合物中的所述重复单元的100mol%， 其中结构1的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的10mol%至35mol%范围内， 所述结构2的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的0mol%至20mol%范围内， 所述结构3的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的15mol%至55mol%范围内， 所述结构4的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的0mol%至30mol%范围内， 所述结构5的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的15mol%至55mol%范围内， 所述结构6的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的0mol%至40mol%范围内， 所述结构7的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的0mol%至25mol%范围内， R1、R2、R3、R4、R5、R6及R7各个地选自H、F、C-1至C-4全氟烷基或C-1至C-4烷基， R8及R9各个地选自H、C-1至C-4烷基、C-1至C-4烷基氧基烷基及卤素， R10选自由以下组成的组：C-1至C-8伯烷基、C-3至C-8仲烷基及C-7至C-14脂环仲烷基， R11为C-2至C-8羟基亚烷基部分， R12为叔烷基酸可裂解基团，且另外其中， R13为C-3至C-12烷基氧基亚烷基部分； B叔烷基官能化丙烯酸类聚合物组分，其包含选自具有结构1a、2a、3a、4a、5a、6a及7a的重复单元的重复单元： 其中这些重复单元构成所述叔烷基官能化丙烯酸类聚合物中的所述重复单元的100mol%， 所述结构1a的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的0mol%至15mol%范围内， 其中所述结构2a的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的0mol%至20mol%范围内， 所述结构3a的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的0mol%至30mol%范围内， 所述结构4a的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的0mol%至30mol%范围内， 所述结构5a的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的15mol%至40mol%范围内， 所述结构6a的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的30mol%至45mol%范围内， 所述结构7a的重复单元介于所述丙烯酸类聚合物的0mol%至20mol%范围内， R1a、R2a、R3a、R4a、R5a、R6a及R7a各个地选自H、F、C-1至C-4全氟烷基或C-1至C-4烷基， R8a及R9a各个地选自H、C-1至C-4烷基、C-1至C-4烷基氧基烷基及卤素， R10a选自由以下组成的组：C-1至C-8伯烷基、C-3至C-8仲烷基及C-7至C-14仲脂环烷基， R11a为C-2至C-8羟基亚烷基部分， R12a为叔烷基酸可裂解基团，且 R13a为C-3至C-12烷基氧基亚烷基部分； C酚醛树脂组分，其包含基于酚醛清漆的树脂； D光致产酸剂PAG组分；及 E溶剂组分， 且另外其中，所述组合物不包括重氮萘醌DNQ组分。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人默克专利股份有限公司，其通讯地址为：德国达姆施塔特；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。