福建兆元光电有限公司李文浩获国家专利权
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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利一种延长晶振片寿命的蒸镀机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115491641B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211267080.8，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种延长晶振片寿命的蒸镀机是由李文浩;李刚;林武;尚大可设计研发完成，并于2022-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种延长晶振片寿命的蒸镀机在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体领域，具体涉及一种延长晶振片寿命的蒸镀机，所述延长晶振片寿命的蒸镀机的多个所述遮挡部绕遮挡板自转轴线均匀设置，所述镂空部设置在相邻的遮挡部之间；所述镂空部上设有镂空通道；所述镂空通道和遮挡部旋转所扫过平面均阻隔在镀源和晶振片之间。本发明的有益效果在于：所述延长晶振片寿命的蒸镀机中，蒸镀材料从镀源蒸镀到晶振片上的路径时而被遮挡部阻挡，时而由镂空通道连通。因此所述遮挡板的设置使晶振片被镀膜较少。不仅使晶振片的侦测膜厚精度更高，还使晶振片长期处于载荷较低的状态下，延长了晶振片的使用寿命。
本发明授权一种延长晶振片寿命的蒸镀机在权利要求书中公布了：1.一种延长晶振片寿命的蒸镀机，所述蒸镀机包括蒸镀腔，所述蒸镀腔内设有镀源和晶振片，所述晶振片连接有膜厚计，其特征在于，所述延长晶振片寿命的蒸镀机包括遮挡板，所述遮挡板自转设置，所述遮挡板自转所绕轴线垂直于遮挡板； 所述遮挡板包括多个遮挡部和多个镂空部；多个所述遮挡部绕遮挡板自转轴线均匀设置，所述镂空部设置在相邻的遮挡部之间；所述镂空部上设有镂空通道； 所述镂空通道和遮挡部旋转所扫过平面均阻隔在镀源和晶振片之间； 所述遮挡板截面呈圆形，所述镂空通道截面呈扇形；所述镂空通道的半径均沿遮挡板半径设置； 多个所述镂空通道截面的总面积为遮挡板面积的0.35-0.65倍； 还包括旋转环和电机，所述旋转环水平设置，所述旋转环的外圈的整个圆周滑动连接蒸镀腔；所述电机传动连接旋转环，所述遮挡板覆盖并固定于旋转环内圈。
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