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龙图腾网获悉中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所申请的专利一种气动式高精度电感位移传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115930762B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211480720.3，技术领域涉及：G01B7/02；该发明授权一种气动式高精度电感位移传感器是由李艳;孙安斌;张子辰;乔磊;王鲁涛;谷玉海;张志权设计研发完成，并于2022-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气动式高精度电感位移传感器在说明书摘要公布了：本发明公开一种气动式高精度电感位移传感器，属于几何量校准领域。本发明包括测头组件、导向组件、复位组件、线圈组件、气动组件；测头组件安装在导向组件的底部，与被测件进行球面接触；导向组件实现导向以及气密的功能；复位组件产生的弹簧力使导杆不发生旋转的沿轴向运动，保证标准测头与被测面充分接触，并实现高精度复位；线圈组件将位移量转化成电感量，实现位移量的输出和转化；气动组件形成气腔，在外部供气时导杆向上运动，外部供气断开后在复位组件的作用下导杆向下运动。本发明是一种自动往复运动、高精度、适用于自动化测量的电感位移传感器，在0～100μm微位移量的高精度测量中，测量重复性达到10nm。

本发明授权一种气动式高精度电感位移传感器在权利要求书中公布了：1.一种气动式高精度电感位移传感器，其特征在于：包括：测头组件、导向组件、复位组件、线圈组件、气动组件； 测头组件包括：标准测头1、测头锁紧螺母2以及标准测头转接帽3；导向组件包括：导杆12、下密珠轴承11、下密珠轴承卡盘10、上密珠轴承14、上密珠轴承卡盘15以及外筒13；复位组件包括：下圆弹片9、下圆弹片外卡盘7、下圆弹片内卡盘8、上圆弹片16、上圆弹片外卡盘17、上圆弹片内卡盘17-1、复位弹簧19、复位弹簧调整螺帽安装座20以及复位弹簧调整螺帽21；线圈组件包括：磁罐安装座18、磁罐连接导杆22、下磁罐23、线圈24以及上磁罐25；气动组件包括：微型气管接头5、气腔密封盖6、下圆弹片外卡盘7以及下圆弹片内卡盘8； 测头组件安装在导向组件的底部，与被测件进行球面接触，导向组件采用密珠轴承对导杆12进行导向，有效增加导向精度和结构稳定性，确保导杆12与气动组件中的下圆弹片内卡盘8内柱面的配合满足气密性要求，复位组件产生使导杆12沿轴向运动的复位力的同时保证导杆12不发生旋转，保证标准测头1与被测面充分接触，且具有较高的复位精度，线圈组件用于将导杆12往复运动的位移量转化成电感量，进而实现位移量的输出和转化，气动组件与导杆12上的活塞柱形成气腔，在外部供气时在气压作用下导杆12向上运动，断气后在复位组件的作用下导杆12向下运动； 导杆12为一体式结构，导杆12底部为活塞柱形式，导杆12与外筒13组成活塞，导杆12与气动组件中的下圆弹片内卡盘8的内柱面进行配合形成气腔，外筒13内孔采用精密研磨工艺，导杆12通过上密珠轴承14和下密珠轴承11实现在外筒13内部运动的导向，上密珠轴承14和下密珠轴承11安装位置的同轴度优于5μm，保证在行程范围内，导杆12运动的直线度变化量小于0.2μm； 气动组件中，气腔密封盖6和下圆弹片外卡盘7共同组成气腔，下圆弹片内卡盘8与导杆12连接构成活塞，当导杆12上下移动时，带动下圆弹片内卡盘8上下移动使气腔内的气压变化。

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