江苏迪盛智能科技有限公司陈国军获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏迪盛智能科技有限公司申请的专利一种曝光方法及曝光设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116009361B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111234674.4,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种曝光方法及曝光设备是由陈国军;吴景舟;马迪设计研发完成,并于2021-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光方法及曝光设备在说明书摘要公布了:本发明揭示了一种曝光方法及曝光设备,曝光方法包括将待曝光图像分为若干个宽度为T的条带图像,T=L‑2×t;步进机构驱动曝光机构向预设位置处步进,步进的距离为T;获取步进机构停止后步进机构的实际位置;计算所述实际位置与预设位置之间的误差ΔX,在宽度为T的条带图像的两侧分别增加宽度为t+ΔX和t‑ΔX的空白条带图像;曝光机构依据调整后的条带图像进行曝光处理。本发明能够弥补光斑的移动误差,避免相邻两个条带之间出现重合或者缝隙的情形,提高曝光质量。
本发明授权一种曝光方法及曝光设备在权利要求书中公布了:1.一种曝光设备的曝光方法,所述曝光设备包括曝光机构和用于控制所述曝光机构步进的步进机构,其特征在于,所述曝光方法包括: S100,将待曝光图像分为若干个宽度为T的条带图像,其中,T=L-2×t,L为曝光机构产生的光斑的宽度,t大于或等于θ,θ为步进机构的精度; S200,步进机构驱动曝光机构向预设位置处步进,步进的距离为T; S300,获取步进机构停止后曝光机构的实际位置; S400,计算所述实际位置与预设位置之间的误差ΔX,在宽度为T的条带图像的两侧分别增加宽度为t+ΔX和t-ΔX的空白条带图像; S500,曝光机构依据步骤S400获得的条带图像进行曝光处理。
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