株式会社村田制作所福光政和获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社村田制作所申请的专利谐振装置、集合基板以及谐振装置的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116034542B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180056420.X,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权谐振装置、集合基板以及谐振装置的制造方法是由福光政和;植田崇资设计研发完成,并于2021-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本谐振装置、集合基板以及谐振装置的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供能够抑制经由保持部的噪声的传播的谐振装置、集合基板以及谐振装置的制造方法。谐振装置1具备:MEMS基板50,包含具有振动部110和构成为保持该振动部110的保持部140的谐振子10;以及上盖30,配置为与MEMS基板50对置且在中间夹着谐振子10,并包含与振动部110电连接的连接布线CW1,谐振子10还具有分离槽145,该分离槽形成为在俯视时包围振动部110。
本发明授权谐振装置、集合基板以及谐振装置的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种谐振装置,具备: 第一基板,包含具有振动部和保持部的谐振子,其中,上述保持部构成为保持该振动部;以及 第二基板,配置为与上述第一基板对置且在中间夹着上述谐振子,并包含与上述振动部电连接的第一连接部, 上述谐振子还具有分离槽,该分离槽形成为在俯视时包围上述振动部以及支承臂部。
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