中国电子科技集团公司第二十四研究所谭开洲获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第二十四研究所申请的专利一种超结终端耐压器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116207129B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310306813.2，技术领域涉及：H10D62/10；该发明授权一种超结终端耐压器件是由谭开洲;肖添;李孝权设计研发完成，并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超结终端耐压器件在说明书摘要公布了：本申请提供一种超结终端耐压器件，包括：有源区和漂移区，其中所述漂移区包括角终端和边终端；有源区等效PN主结区，设置于所述有源区和所述漂移区之间；多个杂质电荷补偿柱，每个所述杂质电荷补偿柱的全部或部分由所述有源区等效PN主结区向所述漂移区的角终端倾斜或折线延伸，各所述杂质电荷补偿柱相互平行且间隔设置。本申请通过在漂移区设置倾斜向角终端的杂质电荷补偿柱，可有效改善有源区边缘等效主PN结边界曲率效应，结构简单，更便于工艺制作，可降低制作成本。
本发明授权一种超结终端耐压器件在权利要求书中公布了：1.一种超结终端耐压器件，其特征在于，包括： 有源区和漂移区，其中所述漂移区包括边终端和角终端； 有源区等效PN主结区，设置于所述有源区和所述漂移区之间； 多个杂质电荷补偿柱，每个所述杂质电荷补偿柱的全部或部分由所述有源区等效PN主结区向所述漂移区的角终端倾斜或折线延伸，各所述杂质电荷补偿柱相互平行且等间距间隔设置； 所述杂质电荷补偿柱与所述角终端的任一边的法线呈45度夹角； 所述漂移区还包括边终端，所述边终端为所述漂移区远离所述角终端的侧边，在所述边终端与所述角终端之间形成过渡区，所述过渡区靠近所述边终端，所述过渡区内至少包含一个远离所述有源等效PN主结区的一端具有分叉结构的杂质电荷补偿柱；所述分叉结构为Y型或X型，且所述分叉结构的其中一个分叉朝向所述角终端倾斜； 所述角终端或边终端的杂质电荷补偿柱的表面水平方向长度不小于其垂直于表面在半导体内的杂质电荷补偿柱的深度。
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