长鑫存储技术有限公司王路广获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种样品制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116263378B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111521931.2，技术领域涉及：G01N1/28；该发明授权一种样品制备方法是由王路广;左文佳设计研发完成，并于2021-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种样品制备方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种样品制备方法，包括：提供待检测样品；确定所述待检测样品中的待检测区和位于所述待检测区周围的预处理区域，其中，所述预处理区域呈圆环型，其内环的直径为第一预设直径；刻蚀所述预处理区域至第一预设深度；在所述预处理区域内填充第一保护材料，且不低于所述待检测区的上表面；对所述预处理区域和所述待检测区进行预处理，得到第一预处理样品。
本发明授权一种样品制备方法在权利要求书中公布了：1.一种样品制备方法，其特征在于，包括： 提供待检测样品，所述待检测样品为包括电容柱的半导体器件； 确定所述待检测样品中的待检测区和位于所述待检测区周围的预处理区域，其中，所述预处理区域呈圆环型，其内环的直径为第一预设直径，所述电容柱所在的区域为所述待检测区； 刻蚀所述预处理区域至第一预设深度； 在所述预处理区域内填充第一保护材料，且不低于所述待检测区的上表面； 对所述预处理区域和所述待检测区进行预处理，得到第一预处理样品。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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