艾森半导体材料(南通)有限公司蔡洁获国家专利权
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龙图腾网获悉艾森半导体材料(南通)有限公司申请的专利一种蚀刻液组合物及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288351B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310291744.2，技术领域涉及：C23F1/16；该发明授权一种蚀刻液组合物及其应用是由蔡洁;胡青华;王元元;张兵;向文胜;赵建龙;杜冰;贾雪;桂立苏设计研发完成，并于2023-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蚀刻液组合物及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种蚀刻液组合物及其应用，所述蚀刻液组合物包括过氧化氢、蚀刻抑制剂、蚀刻添加剂、金属螯合剂和过氧化氢稳定剂。本发明设计的含有蚀刻抑制剂、蚀刻添加剂和金属螯合剂三种成分的蚀刻液组合物蚀刻速率快且蚀刻速率稳定性好，具有优良的稳定性和安全性，使用寿命长，且蚀刻抑制剂、蚀刻添加剂和金属螯合剂三者在增快蚀刻速率功效上具有一定的协同增效效果。
本发明授权一种蚀刻液组合物及其应用在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻液组合物，其特征在于，所述蚀刻液组合物包括质量比为14-16:4-6:13-20:2-2.5:2-3的过氧化氢、蚀刻抑制剂、蚀刻添加剂、金属螯合剂和过氧化氢稳定剂； 所述蚀刻抑制剂为含有一个或一个以上的羧基的有机酸；所述蚀刻添加剂含有无机碱和无机磷酸盐；所述无机磷酸盐为焦磷酸钾、三聚磷酸钠或六偏磷酸钠中的任意一种或至少两种的组合； 所述无机碱和无机磷酸盐的物质的量比为1:1-6。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人艾森半导体材料(南通)有限公司，其通讯地址为：226010 江苏省南通市开发区星湖大道1692号21(22)幢12217室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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