珠海宝丰堂半导体股份有限公司丁雪苗获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海宝丰堂半导体股份有限公司申请的专利等离子处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116387128B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310214349.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子处理装置是由丁雪苗;赵公魄;赵芝强设计研发完成，并于2023-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子处理装置，包括等离子件、安装机构及驱动机构。其中，等离子件包括正电极、负电极及设有真空腔的装置本体，正电极与负电极间隔设置于真空腔的两侧，以使正电极与负电极能够配合形成等离子体发生结构；安装机构设置于真空腔内，且安装机构位于正电极与负电极之间；驱动机构与安装机构及等离子体发生结构中的至少一个传动连接，以使安装机构能够相对于等离子体发生结构沿垂直于正电极与负电极的连线方向往复移动。本申请中的等离子处理装置在等离子体对电路板进行除胶等处理时，安装机构上的电路板能够沿切割电场方向往复移动，使得等离子体在电路板上分布的更加均匀，提高了等离子处理装置处理的均匀性。
本发明授权等离子处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子处理装置，其特征在于，包括： 等离子件，所述等离子件包括正电极、负电极及设有真空腔的装置本体，所述正电极与所述负电极间隔设置于所述真空腔的两侧，以使所述正电极与所述负电极能够配合形成等离子体发生结构； 安装机构，所述安装机构设置于所述真空腔内，且所述安装机构位于所述正电极与所述负电极之间，所述安装机构包括台车及夹具，所述夹具设置于所述台车上，所述夹具用于夹装电路板；及 驱动机构，所述驱动机构与所述安装机构及所述等离子体发生结构中的至少一个传动连接，以使所述安装机构能够相对于所述等离子体发生结构沿垂直于所述正电极与所述负电极的连线方向往复移动； 其中，所述安装机构的底部设有滚动件，所述滚动件用于与所述真空腔的底壁滚动配合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海宝丰堂半导体股份有限公司，其通讯地址为：519040 广东省珠海市金湾区红旗镇东成路118号2号厂房一至三层之一；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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