广东长信精密设备有限公司汤灿东获国家专利权
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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利一种硅晶片磨边机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116394102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310348768.7,技术领域涉及:B24B9/06;该发明授权一种硅晶片磨边机是由汤灿东;邱文金;罗家明;吴伟平设计研发完成,并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅晶片磨边机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种硅晶片磨边机,通过优化打磨装置的驱动模块,来让设备兼容圆形硅晶片和方形硅晶片的边缘打磨,其技术方案:一种硅晶片磨边机,包括机架以及设置在机架上的真空吸盘轴机构、压紧装置、定位装置和打磨装置,所述真空吸盘轴机构包括用于承载并带动硅晶片转动的主轴,所述定位装置包括位于主轴的侧边且能够靠近或远离主轴运动的挡板,所述压紧装置将硅晶片压紧在主轴上,所述打磨装置包括位于主轴的侧边的打磨头、驱动打磨头沿Z轴方向移动的第一打磨驱动模块、驱动打磨头沿Y轴方向移动的第二打磨驱动模块以及驱动打磨头沿X轴方向移动的第三打磨驱动模块,属于晶片加工技术领域。
本发明授权一种硅晶片磨边机在权利要求书中公布了:1.一种硅晶片磨边机,包括机架以及设置在机架上的真空吸盘轴机构、压紧装置、定位装置和打磨装置,所述真空吸盘轴机构包括用于承载并带动硅晶片转动的主轴,所述定位装置包括位于主轴的侧边且能够靠近或远离主轴运动的挡板,所述压紧装置将硅晶片压紧在主轴上,所述打磨装置包括位于主轴的侧边的打磨头,其特征在于,所述打磨装置还包括驱动打磨头沿Z轴方向移动的第一打磨驱动模块、驱动打磨头沿Y轴方向移动的第二打磨驱动模块以及驱动打磨头沿X轴方向移动的第三打磨驱动模块; 所述挡板为围绕所述主轴周向布置的两个; 所述定位装置包括与挡板一一对应的定位驱动模块,所述定位驱动模块驱动挡板直线移动;一个所述挡板的移动方向为X轴方向,另一个所述挡板的移动方向为Y轴方向; 所述机架上固定有与挡板一一对应的固定块,所述挡板滑动配合在固定块上; 所述固定块上固定有顶块,所述挡板上螺纹连接有一调节螺杆,所述调节螺杆位于所述顶块背向主轴的一侧,所述挡板的移动方向与设置在该挡板上的调节螺杆的轴向相平行; 所述调节螺杆朝向顶块的一端为触碰端,所述触碰端用于与顶块接触,通过调整触碰端与顶块的间距来改变挡板的移动距离; 所述压紧装置包括压紧轴体、固定在机架上的基座以及设置在基座上用于驱动压紧轴体升降的第一压紧驱动模块,所述压紧轴体与主轴同轴布置; 所述压紧轴体的下端连接有一万向节,所述万向节远离压紧轴体的一端具有弹性体按压部。
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