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北京烁科中科信电子装备有限公司黄海龙获国家专利权

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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种提高离子注入系统中射频加速桶加速效率的结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116417317B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111660476.4,技术领域涉及:H01J37/317;该发明授权一种提高离子注入系统中射频加速桶加速效率的结构是由黄海龙设计研发完成,并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种提高离子注入系统中射频加速桶加速效率的结构在说明书摘要公布了:一种提高离子注入系统中射频加速桶加速效率的结构。本发明涉及用于提升射频谐振器效率的方法,利用射频谐振器该射频加速桶结构包括:电感线圈,用于将射频功率通过匹配电路馈入到加速电极。射频加速桶腔体,为电感线圈提供绝缘环境以及附加电容。电容调节环,为整个电路进行匹配调节。加速电极,在加速单元中产生用于加速离子的电压。地电极1与2,与加速电极形成加速间隙。SF6,填充在射频桶腔体内以增加电感线圈耐高压性能。隔离部件,用于隔绝射频加速桶腔体和加速腔体。电感线圈调节帽,用于调节电感大小。射频功率馈入头,为射频加速桶腔体内电感线圈进行功率馈入。该离子加速注入系统可以在同等射频功率馈入的情况下,使离子得到更高的加速能量。

本发明授权一种提高离子注入系统中射频加速桶加速效率的结构在权利要求书中公布了:1.一种射频加速桶结构,其特征在于,可在加速单元的加速电极中产生较高的电场,使得离子在穿过此区域时而被电场加速,获得相应的电场能量,该射频加速桶结构包括: 电感线圈,用于将射频功率通过匹配电路馈入到加速电极; 射频加速桶腔体,为电感线圈提供绝缘环境以及附加电容; 电容调节环,为整个电路进行匹配调节; 加速电极,在加速单元中产生用于加速离子的电压; 第一地电极,位于加速电极一侧,与加速电机形成加速间隙; 第二地电极,位于加速电极另一侧,与加速电极形成加速间隙;SF6,填充在射频桶腔体内以增加电感线圈耐绝缘性能; 隔离部件,用于隔绝腔体内部一定压力的SF6环境和位于高真空区域的加速电极; 电感线圈调节帽,用于调节电感大小; 射频功率馈入头,为射频加速桶腔体内电感线圈进行功率馈入; 电感线圈的馈入端可以合理的设置于腔体一端任意位置,电感线圈的输出端在与电感线圈的偏离中心轴侧与加速电极相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京烁科中科信电子装备有限公司,其通讯地址为:101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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