买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳市原速光电科技有限公司申请的专利进气结构与沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116445894B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310162573.3，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权进气结构与沉积装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本进气结构与沉积装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种进气结构与沉积装置，进气结构包括第一仓体、第二仓体与第一分散部件，第一仓体具有第一腔室与连通第一腔室的第一进气口，第二仓体连接于第二仓体，具有与第一腔室连通的第二腔室；第一分散部件设置于第一腔室内，朝向第一进气口凸出设置，沿气体相对第一分散部件流动的第一流动方向，第一分散部件具有多组第一通道，各组第一通道的通气面积逐渐缩小，和或，各组第一通道之间的距离逐渐增加。第一分散部件朝第一进气口突出设置，能够引导气体朝远离第一进气口的流动，避免气体聚集在靠近第一进气口的位置，同时结合第一分散部件上第一通道的差异化设计，降低第一分散部件远离第一进气口一端的通气能力，从而实现提高气体整体分布的均匀性。

本发明授权进气结构与沉积装置在权利要求书中公布了：1.进气结构，其特征在于，包括： 第一仓体，具有第一腔室与连通所述第一腔室的第一进气口； 第二仓体，连接于所述第一仓体，具有与所述第一腔室连通的第二腔室； 第一分散部件，设置于所述第一腔室内，所述第一分散部件朝向所述第一进气口凸出设置，所述第一分散部件朝向所述第一进气口的一侧形成凸出的导气面，所述导气面能够引导气体朝远离所述第一进气口的方向流动，沿气体相对所述第一分散部件流动的第一流动方向，所述第一分散部件具有多组第一通道，且沿所述第一流动方向，各组所述第一通道的通气面积逐渐缩小，和或，各组所述第一通道之间的距离逐渐增加； 所述进气结构还包括第二分散部件，所述第二分散部件设置于所述第一腔室内，并位于所述第一分散部件远离所述第一进气口的一侧，所述第二分散部件具有多组第二通道，至少部分所述第一通道与所述第二通道相互错开。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市原速光电科技有限公司，其通讯地址为：518101 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区群辉路1号优创空间1号楼102；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。