福建兆元光电有限公司马野获国家专利权
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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利一种烤炉保养后的复机方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116516470B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310296622.2，技术领域涉及：C30B25/02；该发明授权一种烤炉保养后的复机方法是由马野;宋水燕;陈灵燕;宋振雄;刘恒山设计研发完成，并于2023-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种烤炉保养后的复机方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备领域，具体涉及一种烤炉保养后的复机方法。该复机方法，依次调整高温烤炉的反应腔为以下状态：温度为360℃，向反应腔中通入20～40min的N2；温度为560～600℃，向反应腔中通入100～140min的N2；程序升温至820～860℃，每次升温后均向反应腔中通入8min的N2；温度为1100～1200℃，向反应腔中通入40～50min的N2H2混合气体；温度为1200～1300℃，向反应腔中通入30～40min的N2H2混合气体；温度为1400～1450℃，向反应腔中通入4～5h的N2H2混合气体；通入N2进行降温，降温过程持续1～1.5h。该复机方法通过先处理水汽再处理掉Al‑Ga以及其余的有机络合物，实现了保养后第一炉就可以烤盘生产。
本发明授权一种烤炉保养后的复机方法在权利要求书中公布了：1.一种烤炉保养后的复机方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：设定烤炉的反应腔温度为360℃，向反应腔中通入20～40min的N2； S2：设定反应腔温度为560～600℃，向反应腔中通入100～140min的N2； S3：将反应腔温度逐步升温至820～860℃，每次升温后均向反应腔中通入8min的N2； S4：设定反应腔温度为1100～1200℃，向反应腔中通入40～50min的N2H2混合气体； S5：设定反应腔温度为1200～1300℃，向反应腔中通入30～40min的N2H2混合气体； S6：设定反应腔温度为1400～1450℃，向反应腔中通入4～5h的N2H2混合气体； S7：反应腔内通入N2进行降温，降温过程持续1～1.5h。
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