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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116653529B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310681086.8，技术领域涉及：B60G17/019；该发明授权一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计是由宦荣华;刘志强;肖尊浩;代洪升;黄志龙设计研发完成，并于2023-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计，属于准零刚度加速度计技术领域。包括敏感质量块、驱动梳齿模块、悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块、检测梳齿模块；敏感质量块的上方和下方分别设有一个悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块，位于敏感质量块上侧和下侧中部的凸起结构与该侧的悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块连接，驱动梳齿模块位于敏感质量块的下侧左右两端，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧；悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块包括悬架组件、以及由双稳梁和直梁串联得到的梁结构。本发明将单个双稳梁与单个直梁串联，形成局部准零刚度区间，在器件工作平面内设计多重该结构并联机制，从而达到多区间的准零刚度。

本发明授权一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计在权利要求书中公布了：1.一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计，其特征在于，包括敏感质量块、驱动梳齿模块、悬架并联式双稳梁-直梁串联模块、检测梳齿模块； 所述的敏感质量块的上方和下方分别设有一个悬架并联式双稳梁-直梁串联模块，位于敏感质量块上侧和下侧中部的凸起结构与该侧的悬架并联式双稳梁-直梁串联模块连接，所述的驱动梳齿模块位于敏感质量块的下侧左右两端，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧； 所述的悬架并联式双稳梁-直梁串联模块包括悬架组件、以及由双稳梁和直梁串联得到的梁结构，所述的双稳梁为二分之一周期余弦函数结构；所述的悬架组件包含悬架固支锚点和可动悬架，所述的悬架固支锚点固定在敏感质量块的上方和下方，所述的悬架固支锚点上溅射有金属电极层；所述的悬架固支锚点与敏感质量块的上侧下侧中部凸起结构之间设有若干个平行布置的可动悬架；最靠近敏感质量块的可动悬架与敏感质量块的凸起结构之间、最远离敏感质量块的可动悬架与悬架固支锚点、以及相邻两个可动悬架之间均通过梁结构相连。

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