深圳市原速光电科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市原速光电科技有限公司申请的专利屏蔽结构、喷淋头以及等离子体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116732504B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310776601.0，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权屏蔽结构、喷淋头以及等离子体设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本屏蔽结构、喷淋头以及等离子体设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种屏蔽结构、喷淋头以及等离子体设备。该屏蔽结构，对喷淋电极进行屏蔽，包括：壳部，壳部形成有用于容纳喷淋电极的容纳腔，容纳腔的底部开设有避让槽，在喷淋电极被容纳在容纳腔的状态下，喷淋电极的喷淋孔从避让槽露出；盖部，盖住容纳腔，和壳部一起包裹喷淋电极并对喷淋电极进行屏蔽；壳部和盖部当中，其中一个具有朝向另一个突出的突出区域，另外一个具有沿突出区域突出的方向凹入的凹入区域，在盖部和壳部相互盖合的状态下，盖部盖住容纳腔，且突出区域和凹入区域以环绕喷淋电极的外周的方式相互对接。本发明的屏蔽结构能够抑制在其间隙中产生打火现象。
本发明授权屏蔽结构、喷淋头以及等离子体设备在权利要求书中公布了：1.屏蔽结构，对喷淋电极进行屏蔽，其特征在于，包括： 壳部，所述壳部形成有用于容纳所述喷淋电极的容纳腔，所述容纳腔的底部开设有避让槽，在所述喷淋电极被容纳在所述容纳腔的状态下，所述喷淋电极的喷淋孔从所述避让槽露出； 盖部，盖住所述容纳腔，和所述壳部一起包裹所述喷淋电极并对所述喷淋电极进行屏蔽； 所述壳部和所述盖部当中，其中一个具有朝向另一个突出的突出区域，另外一个具有沿所述突出区域突出的方向凹入的凹入区域，在所述盖部和所述壳部相互盖合的状态下，所述盖部盖住所述容纳腔，且所述突出区域和所述凹入区域以环绕所述喷淋电极的外周的方式相互对接。
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