安徽聚碳机械设备有限公司吴昊获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉安徽聚碳机械设备有限公司申请的专利一种微波等离子体化学气相沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117026217B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311000050.5，技术领域涉及：C23C16/511；该发明授权一种微波等离子体化学气相沉积装置是由吴昊;卢善友;许金凤;郑家勇设计研发完成，并于2023-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微波等离子体化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本发明属于微波等离子体化学气相沉积技术领域，尤其是一种微波等离子体化学气相沉积装置。本发明包括真空腔体，真空腔体上设有若干个外凸式观察窗组件和若干个内嵌式观察窗组件，外凸式观察窗组件包括设置在第一窗口通槽内的第一石英窗口，第一石英窗口靠近真空腔体内部的一侧安装有可拆卸的第一隔档石英片；内嵌式观察窗组件包括设置在第二窗口通槽内的第二石英窗口，第二石英窗口靠近真空腔体内部的一侧安装有可拆卸的第二隔档石英片。本发明能有效降低积碳膜沉积速率，在不拆除真空密封石英窗的前提下，能够实现快速便捷的对观察窗口进行清理的目的；有效降低了设备的使用成本，进而保障产品品质的一致性。
本发明授权一种微波等离子体化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括真空腔体1，所述真空腔体1上设有若干个外凸式观察窗组件2和若干个内嵌式观察窗组件3，所述外凸式观察窗组件2包括设置在第一窗口通槽5内的第一石英窗口6，所述第一石英窗口6靠近真空腔体1内部的一侧安装有可拆卸的第一隔档石英片7；所述内嵌式观察窗组件3包括设置在第二窗口通槽8内的第二石英窗口10，所述第二石英窗口10靠近真空腔体1内部的一侧安装有可拆卸的第二隔档石英片9；所述内嵌式观察窗组件3还包括与出气口朝向第二隔档石英片9的内部进气管4。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽聚碳机械设备有限公司，其通讯地址为：233100 安徽省滁州市凤阳县经济开发区申通智慧物流园；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励