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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种掩膜版及其生产工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117230407B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311196173.0，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权一种掩膜版及其生产工艺是由倪源;彭源发;王凤姣;沈洵设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩膜版及其生产工艺在说明书摘要公布了：本发明属于掩膜版技术领域，尤其涉及一种掩膜版及其生产工艺，包括：板体；若干进气槽组，设置于板体的顶端，且若干进气槽组沿着板体的长度方向间隔设置，所述进气槽组包括若干沿着板体宽度方向间隔设置的进气槽；以及若干蒸镀孔，分别设置于板体的底端并且连通于进气槽的槽底；其中，所述进气槽和蒸镀孔均为球弧状，且进气槽与蒸镀孔连通部分的开口均小于另一端开口，所述进气槽的顶端开口大于蒸汽孔的底端开口；本发明的有益效果为；蒸镀效果极佳及生产掩膜版准确。

本发明授权一种掩膜版及其生产工艺在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版的生产工艺，其特征在于，掩膜版包括： 包括： 板体1； 若干进气槽组，设置于板体1的顶端，且若干进气槽组沿着板体1的长度方向间隔设置，所述进气槽组包括若干沿着板体1宽度方向间隔设置的进气槽2； 以及若干蒸镀孔3，分别设置于板体1的底端并且连通于进气槽2的槽底； 其中，所述进气槽2和蒸镀孔3均为球弧状，且进气槽2与蒸镀孔3连通部分的开口均小于另一端开口，所述进气槽2的顶端开口大于蒸汽孔的底端开口； 生产工艺包括如下步骤： S1：首先使用切割装置切割出板体1； S2：使用曝光系统对板体1需要加工的位置进行黄光显影； S3：化学蚀刻装置进行对板体1进行夹持，首先对板体1最外侧的进气槽组进行蚀刻，然后将多组进气槽组进行加工，最后将板体1进行清洗卸下； S4：将板体1的反面安装于化学蚀刻装置上，首先对板体1最外侧与进气槽2对应蒸镀孔3进行加工，然后将若干个蒸镀孔3加工出，最后将板体1进行清洗卸下； 所述化学蚀刻装置包括： 载架4，设置于地面上； 清洗台5，设置于载架4的侧壁上，且清洗台5顶端设有清洗槽6； 水平移动结构，设置于载架4内； 浓度调节机构，设置于载架4内的地面上； 喷淋机构，固定端设置于水平移动结构上，输入端贯穿水平移动结构连接于浓度调节机构的输出端上，输出端贯穿至载架4的上方； 以及空间移动机构，设置于载架4和清洗台5的顶端，且空间移动机构的输出端上设有用于夹持板体1的卡盘7； 其中，所述载架4顶端设有供喷淋机构移动的直孔8，所述浓度调节机构内设有用于化学蚀刻的化学液，所述清洗槽6内设有用于清洗化学液的清洗液； 所述浓度调节机构包括： 第一浓度箱12，设置于地面上且位于载架4内； 冲洗箱13，设置于第一浓度箱12顶端； 第二浓度箱14，设置于冲洗箱13顶端； 第一箱抽取管15，一端位于第二浓度箱14上方，另一端从第二浓度箱14顶端贯穿至第一浓度箱12内； 第二箱抽取管16，套置于第一箱抽取管15的外部，且第二箱抽取管16的一端位于第二浓度箱14上方，另一端从第二浓度箱14顶端贯穿至冲洗箱13内； 第三箱抽取管17，套置于第二箱抽取管16的外部，且第三箱抽取管17的一端位于第二浓度箱14上方，另一端贯穿至第二浓度箱14内； 控制抽取结构，输入端设置于第一箱抽取管15、第二箱抽取管16及第三箱抽取管17上； 以及软管18，一端连接于控制抽取结构的输出端上，另一端贯穿移动板10与喷淋机构输入端连接； 其中，所述第一箱抽取管15、第二箱抽取管16及第三箱抽取管17为同心轴设置，所述控制抽取结构用于控制第一箱抽取管15、第二箱抽取管16及第三箱抽取管17工作情况； 所述控制抽取结构包括： 固定管19，一端内壁连接于第三箱抽取管17的顶端外侧壁上，另一端背离第三箱抽取管延伸； 第一控制管20，一端螺纹连接于固定管19内壁上并且底端抵触于第三箱抽取管17顶端，另一端延伸出固定管19； 第二控制管21，一端螺纹连接于第一控制管20内壁上并且底端抵触于第二箱抽取管16顶端，另一端延伸出固定管19； 主流柱22，一端螺纹连接于第二控制管21内壁上并且底端抵触于第一箱抽取管15顶端，另一端延伸出第二控制管21； 主流槽23，设置于主流柱22顶端； 第一通道24，一端开口设置于主流柱22底端并且抵触于第一箱抽取管15的顶端，另一端连接于主流槽23内； 第二通道25，一端开口设置于第一控制管20底端并且不抵触于第三抽取管顶端，另一端依次贯穿第一控制管20内壁、第二控制管21、主流柱22及连通于主流槽23内； 第三通道26，一端开口设置于第二控制管21底端并且抵触于第二抽取管顶端，另一端连通于第二控制管21内壁， 以及第四通道27，一端设置于主流柱22外侧壁上，另一端连通于主流槽23内， 其中，所述主流槽23的顶端开口于软管18连接，当所述第二控制管21转动上升时，所述第三通道26与第四通道27连通，当所述第一控制管20与固定管19完全螺纹连接时，所述第三箱抽取管17顶端开口被密封，当所述第二控制管21与第一控制管20完全螺纹连接时，所述第二箱抽取管16顶端开口被密封，当所述主流柱22与第二控制管21完全螺纹连接时，所述第一箱抽取管15顶端开口被密封。

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