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龙图腾网获悉东方日升(安徽)新能源有限公司申请的专利光伏电池钝化膜的制备方法、光伏电池及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117431528B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311196214.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权光伏电池钝化膜的制备方法、光伏电池及其制备方法是由周观;胡俊华;杜东方;石辰龙设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本光伏电池钝化膜的制备方法、光伏电池及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请的实施例涉及电池技术领域，并提供一种光伏电池钝化膜的制备方法、光伏电池及其制备方法，所述钝化膜的制备方法包括：当载板到达反应腔内指定位置时，将H2O和TMA交替通入反应腔内，且只有当载板上的所有目标硅片的表面均吸附H2O后才通入TMA，只有当载板上的所有目标硅片上吸附的H2O均与TMA反应后才再次通入H2O；设定依次通入一次H2O和TMA为一个反应周期，待经过了预设数量的反应周期后，同时通入H2O和TMA，直至反应结束，得到表面沉积有钝化膜的目标硅片。本申请既能够避免硅片上原子排列断层，获得均匀性较好的沉积膜，又能够保证一定的生产效率，具有同时兼顾钝化膜的质量及产能的效果。

本发明授权光伏电池钝化膜的制备方法、光伏电池及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种光伏电池钝化膜的制备方法，其特征在于，基于板式ALD设备，所述板式ALD设备包括反应腔，所述反应腔内设置有载板1，所述载板1用于放置目标硅片2，且所述载板1用于在所述反应腔内往复运动； 所述方法包括：当所述载板1到达所述反应腔内的指定位置时，将水蒸气和三甲基铝交替通入所述反应腔内，且只有当所述载板1上的所有所述目标硅片2的表面均吸附所述水蒸气后才通入所述三甲基铝，只有当所述载板1上的所有所述目标硅片2上吸附的所述水蒸气均与所述三甲基铝反应后才再次通入所述水蒸气；设定依次通入一次所述水蒸气和所述三甲基铝为一个反应周期，待经过了预设数量的反应周期后，同时通入水蒸气和三甲基铝，直至反应结束，得到表面沉积有钝化膜40的所述目标硅片2； 其中，所述载板1上的所有所述目标硅片2的表面均吸附所述水蒸气后，还包括：获取所述载板1运行的第一循环数，将所述第一循环数向上取整，得到第一预设循环数，当所述载板1运行了所述第一预设循环数时，向所述反应腔内通入所述三甲基铝； 当所有所述目标硅片2上吸附的所述水蒸气均与所述三甲基铝反应后，还包括：获取所述载板1运行的第二循环数，将所述第二循环数向上取整，得到第二预设循环数，当所述载板1运行了所述第二预设循环数时，向所述反应腔内再次通入所述水蒸气。

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