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龙图腾网获悉无锡市福莱达石油机械有限公司申请的专利一种带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117467924B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311405415.2，技术领域涉及：C23C4/134；该发明授权一种带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘的制备方法是由章倩;戴熠帆设计研发完成，并于2023-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘的制备方法，带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘从下至上依次包括真空吸盘坯体、镍铝粘结层和氧化铬‑氧化铝‑氧化镧复合陶瓷涂层；制备方法包括以下步骤：步骤S1.将铝粉、表面带有金属镀层的SiC粉末以及石蜡混合得到混合料；步骤S2.将混合料压制成真空吸盘坯体；步骤S3.烧结；步骤S4.一次退火；步骤S5.采用等离子喷涂在真空吸盘坯体上依次喷涂镍铝粘结层和氧化铬‑氧化铝‑氧化镧复合陶瓷涂层，得到真空吸盘半成品；步骤S6：二次退火，磨平和研光，得到带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘。本发明获得质量轻，强度和刚度高，且表面耐磨的真空吸盘，以有效克服原来的合金硅片真空吸盘重量大和不耐磨的缺陷。

本发明授权一种带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘的制备方法，其特征在于：带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘从下至上依次包括真空吸盘坯体1、镍铝粘结层2和氧化铬-氧化铝-氧化镧复合陶瓷涂层3； 制备方法包括以下步骤： 步骤S1.将铝粉、表面带有金属镀层的SiC粉末以及石蜡混合得到混合料； 步骤S2.将混合料通过压制的方法压成真空吸盘坯体1，随后烘干； 步骤S3.将烘干后的真空吸盘坯体进行烧结致密化； 步骤S4.将烧结后的真空吸盘坯体一次退火，随后将真空吸盘坯体进行喷砂粗化和清洗； 步骤S5.采用等离子喷涂在真空吸盘坯体上依次喷涂厚度为50～150微米的镍铝粘结层2和100～500微米氧化铬-氧化铝-氧化镧复合陶瓷涂层3，得到真空吸盘半成品； 步骤S6：将步骤S5的真空吸盘半成品二次退火，随后依次采用平面磨床和研磨设备将氧化铬-氧化铝-氧化镧复合陶瓷涂层磨平和研光，得到带有多元复合陶瓷涂层的硅片真空吸盘； 步骤S1中铝粉、表面带有金属镀层的SiC粉末以及石蜡三者的质量比为：23～35：63～75：2～5，表面带有金属镀层的SiC粉末中金属镀层的材质为Ni或Cu。

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