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上海馨欧集成微电有限公司吴进波获国家专利权

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龙图腾网获悉上海馨欧集成微电有限公司申请的专利一种声波谐振器、滤波器及通信器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117498826B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311459746.4,技术领域涉及:H03H9/15;该发明授权一种声波谐振器、滤波器及通信器件是由吴进波设计研发完成,并于2023-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种声波谐振器、滤波器及通信器件在说明书摘要公布了:本发明涉及微电子器件技术领域,特别涉及一种声波谐振器、滤波器及通信器件。声波谐振器包括由下至上依次设置的支撑衬底、底电极、压电层和顶电极;压电层包括沿第一方向交替排列的多个第一压电区和多个第二压电区;第一压电区的欧拉角与第二压电区的欧拉角不相等;第一方向为支撑衬底的长度方向;多个第一压电区中的相邻第一压电区的中心之间的距离等于多个第二压电区中的相邻第二压电区的中心之间的距离;相邻第一压电区的中心之间的距离与声波谐振器的目标模式的频率之积小于支撑衬底的声速;目标模式为纵向电场作用下激发的声波模式。以在不减小电极线宽的前提下减小目标模式的波长,实现更高的频率,降低欧姆损耗和提高功率容量。

本发明授权一种声波谐振器、滤波器及通信器件在权利要求书中公布了:1.一种声波谐振器,其特征在于,包括由下至上依次设置的支撑衬底、底电极、压电层和顶电极,所述支撑衬底为高声速支撑衬底; 所述压电层包括沿第一方向交替排列的多个第一压电区和多个第二压电区;所述第一压电区的欧拉角与所述第二压电区的欧拉角不相等;所述第一方向为所述支撑衬底的长度方向,在所述顶电极和所述底电极至少覆盖一组相邻的所述第一压电区和所述第二压电区; 多个所述第一压电区中的相邻第一压电区的中心之间的距离等于多个所述第二压电区中的相邻第二压电区的中心之间的距离;所述相邻第一压电区的中心之间的距离与所述声波谐振器的目标模式的频率之积小于所述支撑衬底的声速;所述目标模式在所述第一压电区中对应的压电系数与在所述第二压电区中对应的压电系数为相反数;所述目标模式为纵向电场作用下激发的声波模式; 所述压电层包括沿第三方向依次排列设置的多个子压电层,每个所述子压电层包括沿所述第一方向交替排列的多个所述第一压电区和多个所述第二压电区;所述第三方向为所述支撑衬底的宽度方向;所述目标模式在多个所述子压电层中沿所述第三方向的相邻压电区分别对应的压电系数相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海馨欧集成微电有限公司,其通讯地址为:201807 上海市嘉定区城北路378号1601室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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