拓荆科技(上海)有限公司孟令玉获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种沉积装置和沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117758233B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311769627.9，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种沉积装置和沉积方法是由孟令玉;薛国标;冯嘉恒;刘英明;赵郁晗;韦德设计研发完成，并于2023-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沉积装置和沉积方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种沉积装置和沉积方法。沉积装置包括：反应腔，其内部放置晶圆；喷淋板，设置于所述反应腔的腔顶，以向所述反应腔内输入工艺气体；抽气组件，包括至少一对抽气口和抽气环，所述抽气环连接所述喷淋板，所述抽气环结合所述喷淋板，以扣罩形式覆盖在所述晶圆的上表面，并且，所述抽气环上包括多个带内螺纹的抽气孔，用以配合螺钉调节所述抽气孔的孔径大小，所述至少一对抽气口对称设置于所述反应腔的内部，用以在沉积工艺完成后，对称抽取所述抽气环内的工艺气体。通过上述沉积装置，不仅能够配合沉积工艺，调整反应腔内的流场分布，提升抽气效率，从而优化沉积薄膜的均匀性，而且还能够增大工艺调整窗口，节约了改造硬件的成本。
本发明授权一种沉积装置和沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种沉积装置，其特征在于，包括： 反应腔，其内部放置晶圆，其中，所述反应腔连接的第一吹扫气体源、第一前驱体源、第二吹扫气体源和第二前驱体源的输出端分别设有增压用的填充罐； 喷淋板，设置于所述反应腔的腔顶，以向所述反应腔内输入工艺气体；以及 抽气组件，包括至少一对抽气口和抽气环，所述抽气环连接所述喷淋板，所述抽气环结合所述喷淋板，以扣罩形式覆盖在所述晶圆的上表面，并且，所述抽气环上包括多个带内螺纹的抽气孔，用以配合螺钉调节所述抽气孔的孔径大小，所述至少一对抽气口对称设置于所述反应腔的内部，用以在沉积工艺完成后，对称抽取所述抽气环内的工艺气体。
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