华侨大学徐仰立获国家专利权
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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118189833B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410209863.3，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法是由徐仰立;李昊清;杨泽凌;任晨旭;黄国钦;徐西鹏设计研发完成，并于2024-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法涉及半导体加工工艺技术领域。通过设置测量组件使得光源发出的光线形成第一光线与第二光线，由于第二光线之间具有磨削液作为介质，利用迈克尔逊干涉仪原理，可以通过测量第一光线与第二光线之间的光程差变化可以实时获得磨削液的厚度。
本发明授权一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法在权利要求书中公布了：1.一种磨削液体薄膜厚度测量装置，其适于测量金刚石磨盘与透光衬底之间的磨削液薄膜厚度，其特征在于，包括：测量组件，所述金刚石磨盘的底面包括有成直线等间距排列的多个微型凹槽，所述微型凹槽内设置有反光镜片以形成第二激光反射镜； 所述测量组件包括具有第一光路管与第二光路管的光源发射器，以及设置在所述第一光路管与金刚石磨盘之间的分光板，所述分光板与所述金刚石磨盘之间还设置有补偿板，其中，所述分光板的相对的两侧分别设置有第一激光反射镜与光线探测器； 所述第一光路管上设置有与所述金刚石磨盘上的微型凹槽相对应的多个发射装置以将光源发出的光线发射至所述第二激光反射镜上，并接收从所述第二激光反射镜反射回来的光线，且能通过所述第二光路管再次被所述第二激光反射镜反射至所述光线探测器； 所述发射装置上射出的激光线适于穿过所述分光板与所述补偿板以照射在所述第二激光反射镜上，同时所述分光板适于反射部分光线至所述第一激光反射镜，所述第一激光反射镜适于将光线反射回所述分光板，被所述第一激光反射镜反射回的光线再次经过所述分光板与所述第二光路管以被所述光线探测器接收；从所述第二激光反射镜反射回的光线与从所述第一激光反射镜反射回的光线之间具有光程差，所述光线探测器适于获取所述光程差的变化以得到所述磨削液薄膜的厚度。
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