匠岭科技(上海)有限公司唐毅成获国家专利权
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龙图腾网获悉匠岭科技(上海)有限公司申请的专利图像处理方法、系统、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118365579B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311465217.5,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权图像处理方法、系统、设备及存储介质是由唐毅成;倪赛健设计研发完成,并于2023-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本图像处理方法、系统、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种图像处理方法、系统、设备及存储介质,其中,所述图像处理方法包括:提供待测晶圆,所述待测晶圆的表面形成有周期性图案;在所述待测晶圆表面不同区域的获取对应的晶圆图像,所述晶圆图像包括局部晶圆图像;利用图像匹配算法计算每张所述晶圆图像中的所述周期性图案的图像坐标;将所有所述晶圆图像上的周期性图案的坐标对应到同一个图像坐标系上,以将所有晶圆图像拼接成一张完整的晶圆表面图像。本发明所提供的图形处理方法能够实现高精度的局部晶圆图像对准,避免了传统的方法中,用于拼接对准的特征点容易错位的问题。
本发明授权图像处理方法、系统、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种图像处理方法,其特征在于,包括: 提供待测晶圆,所述待测晶圆的表面形成有周期性图案; 在所述待测晶圆表面不同区域的获取对应的晶圆图像,所述晶圆图像包括局部晶圆图像; 利用图像匹配算法计算每张所述晶圆图像中的所述周期性图案的图像坐标; 将所有所述晶圆图像上的周期性图案的坐标对应到同一个图像坐标系上,以将所有晶圆图像拼接成一张完整的晶圆表面图像; 所述将所有所述晶圆图像上的周期性图案的坐标对应到同一个图像坐标系上,包括: 选择一张晶圆图像作为基准图像,所述基准图像的图像坐标为基准坐标系; 根据所述基准图像中周期性图案的图像坐标、最小周期尺寸、每行每列的周期性图案的周期数、以及周期性图案排布的偏转角度进行推演,得到所述晶圆区域中所述基准图像之外的所述周期性图案在所述基准坐标系上的坐标; 利用图像坐标空间变换将其它的晶圆图像的周期性图案的坐标对应到所述基准坐标系上; 所述晶圆图像包括第一局部图像和第二局部图像,将所述第一局部图像和第二局部图像拼接成一张完整的晶圆表面图像的步骤包括: 设定所述第一局部图像的所述周期性图案的图像坐标为,设定所述第二局部 图像的所述周期性图案的图像坐标为,其中,的取值范围为,为相 机视野宽度,所述待测晶圆的直径在一倍到两倍相机视野宽度之间; 利用图像坐标空间变换将第二局部图像的坐标系中的所有周期性图案的中 心坐标点转化到第一局部图像的坐标系,以得到完整的晶圆表面图像,其中,第一 局部图像的坐标系中所述第二局部图像中的周期性图案的中心坐标的取值范围为,其中,X2X1,X1X32X1。
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