中原关键金属实验室;郑州大学刘苗获国家专利权
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龙图腾网获悉中原关键金属实验室;郑州大学申请的专利一种高致密氧化镁靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118666571B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410714191.1，技术领域涉及：C23C14/08；该发明授权一种高致密氧化镁靶材及其制备方法和应用是由刘苗;孙本双;刘洋;何季麟;钱志杰;陈杰;曾学云;王之君设计研发完成，并于2024-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高致密氧化镁靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明提供了一种高致密氧化镁靶材及其制备方法和应用，属于新材料制造及应用技术领域。本发明通过将镁源粉体原料、溶剂、功能助剂混合后砂磨得到浆料；然后将浆料通过压力注浆、保压得到靶材素坯；最后将靶材素坯依次经过干燥处理、脱脂烧结得到高致密氧化镁陶瓷靶材。在制备过程中不使用烧结助剂、不采用热压方法，没有烧结助剂和碳污染导致的纯度不足问题，同时脱脂和烧结步骤相结合简化了制备过程，在常压下进行即可降低了成本和操作难度，适用于工业生产。
本发明授权一种高致密氧化镁靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种高致密氧化镁靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将镁源粉体原料、溶剂、功能助剂混合后砂磨得到浆料； 2将浆料通过压力注浆、保压得到靶材素坯； 3将靶材素坯依次经过干燥处理、脱脂烧结得到高致密氧化镁陶瓷靶材； 步骤2压力注浆时采用氮气进行保压，压力保持在0.2-0.8MPa，保压时间为2-10h； 所述步骤3中干燥处理的条件为： 在第一干燥温度20-35℃、第一湿度70-80％RH条件下进行第一次干燥24-36h； 然后在第二干燥温度40-60℃、第二湿度50-70％RH条件下进行第二次干燥36-48h； 所述步骤3中脱脂烧结过程在流动氧气环境下进行； 脱脂烧结过程按照如下阶梯变温程序进行，以0.5℃min升温速率从室温升至第一阶梯350℃，保温15h；以0.5℃min升温速率升温至第二阶梯温度800℃，保温20h；以3℃min升温速率升温至第三阶梯温度1300-1800℃，保温6h；以3℃min降温速率降温至第四阶梯温度300-500℃，保温2h，自然冷却至室温。
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