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哈尔滨理工大学姜巍获国家专利权

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龙图腾网获悉哈尔滨理工大学申请的专利一种耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118773562B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410870094.1,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜的制备方法是由姜巍;江奕霖设计研发完成,并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜的制备方法在说明书摘要公布了:一种耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜的制备方法,它涉及一种薄膜材料的制备方法。本发明的目的是要解决现有刀具及工程设备在盐碱环境下服役会面临腐蚀失效风险的问题。方法:一、预处理;二、预溅射钛靶;三、磁控溅射钴铬镍合金靶和钛单质靶,工件表面得到N增强的CoCrNiTiN中熵氮化物薄膜。本发明通过氮促使薄膜中结构结晶化和中熵结构中多组元固溶的协同作用,实现了氮化物薄膜保持中熵结构的前提下耐腐蚀性的提升。本发明工艺简单,避免了制备过程中繁琐的步骤。本发明可获得一种耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜。

本发明授权一种耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜的制备方法,其特征在于所述制备方法制备的耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜结构致密,表面出现柱状晶体的起伏,具有良好的耐腐蚀性; 制备方法具体是按以下步骤完成的: 一、预处理: 使用砂纸对预镀膜工件的表面进行打磨,然后对工件进行抛光处理,再对工件进行超声清洗,吹干,得到预处理后的工件; 步骤一中所述的工件的材质为42CrMo; 步骤一中依次使用水砂纸240#、600#、800#、金相砂纸400#、600#、800#打磨对预镀膜工件的表面进行打磨; 步骤一中所述的抛光处理为:使用粒径为2.5μm的抛光剂对工件抛光1min; 步骤一中所述的超声清洗为:首先使用石油醚对工件进行超声清洗,清洗时间为10min,以去除工件表面的油污,再采用无水乙醇对工件进行超声清洗,清洗时间为10min,去除工件表面的石油醚以及其它杂质; 二、将等原子比的钴铬镍合金靶材和钛单质靶材依次装到直流电源的靶位上,将预处理后的工件装入工件盘,关闭真空室,抽真空至5×10-3Pa以下;向真空室内通入氩气,氩气的流量为45sccm,使真空室内气压维持在0.5Pa,打开负偏压电源,将负偏压调节至-50V,再打开钛靶的电源,预溅射10min, 步骤二中钛靶的功率设为60W; 三、预溅射完成后,关闭钛靶的电源,通入氮气和氩气的混合气,使真空室内气压维持在0.5Pa,同时打开钴铬镍合金靶的电源和钛靶的电源,保持-50V的负偏压,磁控溅射90min,工件表面得到N增强的CoCrNiTiN中熵氮化物薄膜,即为耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜; 步骤三中氮气和氩气的混合气中氮气的流量为5sccm,氩气的流量为45sccm; 步骤三中钴铬镍合金靶的功率为150W,钛靶的功率设为60W。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨理工大学,其通讯地址为:150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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