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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种微球模板辅助刻蚀的可控纳米线复合微流道的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119079929B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411192763.0，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权一种微球模板辅助刻蚀的可控纳米线复合微流道的制备方法是由温荣福;刘珊珊;贺文;毕经纬;王梦尧;魏子亚;郝婷婷;马学虎设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微球模板辅助刻蚀的可控纳米线复合微流道的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微球模板辅助刻蚀的可控纳米线复合微流道的制备方法，属于微纳结构表面制备及强化散热结构领域，采用降液法制备单层聚苯乙烯微球模板，采用等离子刻蚀进行单层聚苯乙烯微球模板尺寸的调控，通过磁控溅射和水浴刻蚀后得到所述可控纳米线复合微流道，本发明的制备方法有效弥补了现有提拉法制备单层模板的不足，同时提出采用等离子刻蚀法代替常用的反应离子刻蚀法进行模板尺寸调节，实现微球模板辅助制备纳米线结构。

本发明授权一种微球模板辅助刻蚀的可控纳米线复合微流道的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种微球模板辅助刻蚀的可控纳米线复合微流道的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 对基底材料进行预处理； 将聚苯乙烯微球溶液稀释，离心后将上清液与无水乙醇混合，冰水中超声后得到混合液，所述离心的转速为3000-7000rpm； 将降液漏斗竖直固定于铁架台上，将所述混合液吸入注射器内，将含有混合液的注射器竖直固定于铁架台上，所述注射器位于所述降液漏斗上方，所述注射器的针尖贴紧所述降液漏斗的内壁，所述降液漏斗下方有容器，所述容器用于盛放从所述降液漏斗中滴落的溶液； 所述降液漏斗整体为玻璃材质，漏斗部分为柱体加锥体结构，锥体下部连接有尖嘴导管，柱体和锥体连接处固定连接有蜂窝漏板，蜂窝漏板可实现基底材料的平稳放置，且可以实现液面均匀下落，尖嘴导管处带有活塞； 将所述降液漏斗的活塞关闭，将硅片放入所述降液漏斗中，倒入水直至淹没硅片；拔出所述注射器的活塞使聚苯乙烯微球溶液在重力作用下向下运动，使所述混合液能够沿一条固定的路径向水面滑落，控制所述注射器的针尖处所述混合液的滴落速度，使其能够在水面上形成连续不断的波纹，所述混合液滴加完毕后，静置使聚苯乙烯微球在液面完全铺展，待液面稳定后，打开所述降液漏斗的活塞，使所述降液漏斗中的溶液滴落至所述容器中，保持液面无波动下降，直至液面低于所述硅片，聚苯乙烯微球留在硅片上，静置后烘干，得到单层聚苯乙烯微球模板； 采用等离子刻蚀法对所述单层聚苯乙烯微球模板进行刻蚀，然后通过磁控溅射在所述单层聚苯乙烯微球模板间隙处溅射一层贵金属催化剂，水浴条件下进行刻蚀，得到所述可控纳米线复合微流道； 所述基底材料为微流道散热器，其整体为18.14*16.14mm的硅片，在内部光刻宽300μm，长11.14mm，深300μm的一组流道； 放置微流道散热器时，保证其中的流道呈上下结构，在降液法过程中使得液面沿着流道降落，保证流道底部能够接触到液面形成的微球薄膜。

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