上海馨欧集成微电有限公司吴进波获国家专利权
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龙图腾网获悉上海馨欧集成微电有限公司申请的专利一种高频声波谐振器及应用其的通信器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119182373B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311507429.5,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权一种高频声波谐振器及应用其的通信器件是由吴进波设计研发完成,并于2023-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高频声波谐振器及应用其的通信器件在说明书摘要公布了:本发明涉及微电子器件技术领域,特别涉及一种高频声波谐振器及应用其的通信器件。高频声波谐振器包括由下至上依次设置的支撑衬底、底电极、压电层和叉指换能器;叉指换能器中任意两组叉指电极对应的距离相等;每组叉指电极对应的距离为叉指换能器中相邻的两个叉指电极的中心之间的距离;高频声波谐振器的目标模式为由纵向电场激发的高阶声波模式;叉指换能器的周期与目标模式的谐振频率之积小于支撑衬底的声速;叉指换能器的周期为两倍的叉指电极对应的距离;叉指换能器的两侧分别设有一个能量处理装置;能量处理装置用于对零阶模式进行散射、透射或吸收。从而在不影响目标模式的前提下,最大程度降低零阶模式的Q值,降低相关杂散通带的影响。
本发明授权一种高频声波谐振器及应用其的通信器件在权利要求书中公布了:1.一种高频声波谐振器,其特征在于,包括由下至上依次设置的支撑衬底、底电极、压电层和叉指换能器; 所述叉指换能器中任意两组叉指电极对应的距离相等;每组所述叉指电极对应的距离为所述叉指换能器中相邻的两个叉指电极的中心之间的距离;所述高频声波谐振器的目标模式为由纵向电场激发的高阶声波模式;所述叉指换能器的周期与所述目标模式的谐振频率之积小于所述支撑衬底的声速;所述叉指换能器的周期为两倍的所述叉指电极对应的距离; 所述叉指换能器包括沿第一方向设置第一侧和第二侧;所述第一方向为所述叉指电极的宽度方向;所述第一侧和所述第二侧分别设有一个能量处理装置;所述能量处理装置用于对零阶模式进行散射、透射或吸收; 当所述能量处理装置为第一反射栅时,用于对零阶模式进行透射,所述第一反射栅至少满足下述特征之一: 所述第一反射栅中相邻电极的中心之间的距离与所述叉指电极对应的距离不相等;所述第一反射栅的占空比、所述第一反射栅的厚度、所述第一反射栅的区域对应的目标层的材料和所述第一反射栅的区域对应的目标层的厚度中的至少一种与对应的叉指换能器的区域不同;所述目标层包括所述底电极、所述压电层和所述支撑衬底中的至少一种; 位于所述第一侧的第一反射栅中相邻电极的中心之间的距离与位于所述第二侧的第一反射栅中相邻电极的中心之间的距离不相等; 所述第一反射栅中相邻电极的中心之间的距离沿第二方向变化,所述第二方向为所述叉指电极的延伸方向。
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