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龙图腾网获悉上海馨欧集成微电有限公司申请的专利一种声波滤波器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119182379B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311822493.2，技术领域涉及：H03H9/54；该发明授权一种声波滤波器及其制备方法是由吴进波设计研发完成，并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种声波滤波器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种声波滤波器及其制备方法。声波滤波器包括至少一个串联谐振器和至少一个并联谐振器；串联谐振器和并联谐振器均包括支撑衬底、介质层、压电层和叉指电极；介质层和压电层位于支撑衬底上，且压电层的底部与支撑衬底存在预设距离；叉指电极设于压电层的顶部；串联谐振器和并联谐振器中的至少一个谐振器的支撑衬底和压电层之间设有底电极。通过选择是否具有底电极或不同面内取向来选择目标模式，从而避免了压电层的局部减薄，充分利用了高阶声波模式在高声速和大机电耦合系数方面的优势，有利于高性能的高频滤波器的批量生产以及提高良率。

本发明授权一种声波滤波器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种声波滤波器，其特征在于，包括至少一个串联谐振器和至少一个并联谐振器； 所述串联谐振器和所述并联谐振器均包括支撑衬底、介质层、压电层和叉指电极；所述介质层和所述压电层位于所述支撑衬底上，且所述压电层的底部与所述支撑衬底存在预设距离；所述叉指电极设于所述压电层的顶部；所述声波滤波器中每个谐振器的压电层的厚度相同；所述串联谐振器和所述并联谐振器中的至少一个谐振器的目标模式为由纵向电场激发的高阶声波模式； 所述串联谐振器和所述并联谐振器中，至少一个谐振器的所述支撑衬底和所述压电层之间设有底电极且至少一个谐振器的所述支撑衬底和所述压电层之间未设置所述底电极，所述并联谐振器的目标模式包括零阶水平剪切模式、零阶纵向泄露声表面波模式或者零阶瑞利模式；所述串联谐振器的目标模式包括高阶水平剪切模式或者高阶兰姆波模式；或者；所述串联谐振器和所述并联谐振器均设有所述底电极，且所述串联谐振器和所述并联谐振器之间对应不同的面内取向，所述面内取向为与所述叉指电极延伸方向垂直的方向，所述并联谐振器的目标模式为高阶水平剪切模式；所述串联谐振器的目标模式为高阶兰姆波模式； 所述声波滤波器至少包含两种目标模式； 在所述声波滤波器的每个谐振器中，所述支撑衬底的慢剪切波声速大于所述谐振器的目标模式的声速；所述谐振器的目标模式的声速由所述叉指电极的电极指间距与谐振器的谐振频率决定； 所述声波滤波器中存在至少一个串联谐振器的目标模式的声速大于一个并联谐振器的目标模式的声速。

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